Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #293805105 zu verkaufen
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LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der für eine Vielzahl verschiedener Anwendungen in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. TCP 9400 basiert auf der patentierten DuraSketch™-Technologie von LAM RESEARCH, die hochpräzise und wiederholbare Ergebnisse für das Ätzen, Aschen und andere kritische Technologien liefert. Der Ätzer/Ascher verwendet ein hochentwickeltes Plasmaprozess, um einen schnellen, sauberen und gleichmäßigen Ätzprozess zu liefern, was zu einer überlegenen Waferqualität führt. LAM RESEARCH TCP 9400 verwendet eine hochinnovative Vakuumlastverriegelung und Substratübertragungsausrüstung, mit der Bediener einfach bis zu 8 Wafer mit einem einzigen Zyklus übertragen können. Die Konstruktion des Systems ermöglicht auch eine präzise und kontrollierte vertikale Bewegung der Wafer, die sicherstellt, dass die Ätzprozesse stark wiederholbar sind und keine Prozessvariation aufweisen. Dies ermöglicht höhere Ausbeuten und höhere Gleichmäßigkeit im Endprodukt. Das Gerät verfügt zudem über einen präzisen digitalen HF-Generator mit präziser Frequenz- und Leistungsregelung. Dadurch kann der Benutzer Sättigungsreaktionszeit und Ätzrate einwählen sowie die Ätztiefe genau einstellen. Die präzise Steuerung der Prozessparameter macht es ideal für den Einsatz in jedem Präzisionsätzprozess. Die Maschine verfügt zudem über eine großzügige Auswahl an Quellgasen, die vielfältige Ätzanwendungen ermöglichen. Es verfügt auch über automatische Gasschaltung, so dass eine vollständige Prozessautomatisierung. Das Werkzeug bietet zudem präzise Heizzonen zur präzisen thermischen Steuerung während des Ätzprozesses. TCP 9400 ist das perfekte Werkzeug für anspruchsvollste Ätz- und Ascheanwendungen. Die präzisen Prozessparameter, die automatisierte Gasumschaltung und die umfangreiche Gasauswahl machen es zu einem idealen Werkzeug für ertragreiche und qualitativ hochwertige Produktionsprozesse. Die intuitiven Bedienelemente, die Vakuumübertragungsanlage und der digitale HF-Generator machen ihn auch ideal für präzise Ätzprozesse.
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