Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #293809942 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der den Anforderungen an hochpräzises Ätzen und Aschen in der Halbleiter- und fortschrittlichen Verpackungsindustrie gerecht wird. Diese Ausrüstung ist in der Lage, schnelle, einheitliche und zuverlässige Prozesse mit überlegener Leistung zu liefern. TCP 9400 ist mit einer vollautomatischen und integrierten Gasversorgungsplattform ausgestattet, die bis zu 11 Gasversorgungspunkte gleichzeitig liefert. Es verfügt zudem über eine hocheffiziente Roboterschnittstelle mit bis zu drei heißen Robotern, die bis zu 40 Wafer für manuelle Beladung und schnelle Wendezeiten manipulieren können. Das Gerät umfasst ein Vakuumpumpenpaket mit variablem Frequenzantrieb und eine spezielle Prozesskammer, die entworfen ist, um die Ausgasung zu minimieren und den Wärmeübergang zwischen dem Gerät und dem Substrat zu minimieren. LAM RESEARCH TCP 9400 ist in der Lage, wiederholbare Prozesse wie Oxid, Nitrid und andere Radierungen für hohe Seitenverhältnisse mit einem hohen Grad an Genauigkeit und Gleichmäßigkeit über mehrere Wafergrößen zu liefern. Die hohen Durchsatzraten und die feine Prozesskontrolle von TCP 9400 reduzieren Zykluszeiten und ermöglichen erhöhte Produktionsausbeuten. LAM RESEARCH TCP 9400 ist zudem mit einem leistungsstarken Prozessüberwachungssystem ausgestattet, das den gesamten Ätz-/Ascheprozess überwacht. Seine betrieblichen Prozesssteuerungsparameter, einschließlich Gasdurchfluss, Druck, Temperatur und Leistung, können in die Prozesssteuerungssoftware programmiert werden. Dies ermöglicht ein optimales Management des Prozesses und sorgt dafür, dass die Via, die Leitung und die Kontaktlöcher immer wieder einwandfrei geätzt werden. Abschließend ist TCP 9400 eine ideale Lösung für die Halbleiter- und fortschrittliche Verpackungsindustrie, da es einen schnellen, zuverlässigen und wiederholbaren Prozess bietet, der eine überlegene Einheitlichkeit über mehrere Wafergrößen hinweg bietet. Das leistungsstarke Prozessüberwachungssystem und die automatisierte Gasversorgungsplattform sorgen dafür, dass jeder Auftrag einwandfrei erledigt wird und Kunden eine höhere Produktivität und Zufriedenheit bieten.