Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #293825709 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400 ist eine Ätz-/Aschereinheit zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein hochautomatisiertes Gerät, das in der Lage ist, Inline-Ablations- und/oder Ätzprozesse in einem einzigen Arbeitsgang durchzuführen. Dieses System eignet sich hervorragend für die Mittel- bis Großserienfertigung von Geräten. Diese Einheit verfügt über eine tiefe reaktive Ionenätzkammer (DRIE) mit einem pneumatisch betätigten Deckel-Öffnungs-/Schließmechanismus. Diese Kammer soll die Bearbeitung von Substraten mit hoher Genauigkeit und Präzision ermöglichen. Die Kammer weist einen integrierten Wärmetauscher und ein zusätzliches Druckregelmodul zur genauen Prozesssteuerung auf. Die Maschine verfügt außerdem über einen Einwafer-Transferroboter zum Be- und Entladen von Substraten aus dem Werkzeug. Dieser Roboter bietet eine hohe Prozessflexibilität und ist mit einem Vision-Tool für zuverlässiges und effizientes Substrathandling ausgestattet. Der Roboter ist auch mit einem Leistungsmodul ausgestattet, so dass er überlegenen Substratschutz und reduzierte Zykluszeiten bietet. Die Controller-Einheit bietet die Steuerungs- und Automatisierungsfunktionen, die für die Ausführung des Assets erforderlich sind. Dazu gehören Betriebsparameter, Rezeptverwaltung, Datenprotokollierung und Konnektivität zu einem Hostcomputer. Die Controller-Einheit umfasst die Fähigkeit, Prozessergebnisse zu überwachen und zu analysieren und Rezepte für die zukünftige Wiederholbarkeit zu speichern. Schließlich verfügt das Modell über eine Ladekammer zur Aufnahme von bis zu 8 Wafern für Vorätz- und Nachätzprozesse. Diese Kammer umfasst eine Vakuumpumpe zur Evakuierung und eine Sauerstoffeinspritzöffnung zur Inertisierung der Kammeratmosphäre. Alle diese Komponenten arbeiten zusammen, um qualitativ hochwertige, wiederholbare Ergebnisse in konsistenter und zuverlässiger Weise zu erzielen. Durch die Verwendung von TCP 9400 Ätz-/Aschemaschinen können Gerätehersteller Halbleiterbauelemente herstellen, die ihren Spezifikationsanforderungen rechtzeitig und kostengünstig entsprechen.