Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #9053203 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein Ätzer/Ascher für Waferbearbeitungsanwendungen. Es ist eine Hochgeschwindigkeits-, hochauflösende Ätz- und Aschemaschine, die Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll verarbeiten kann. Dieses System wurde entwickelt, um eine extrem präzise Strukturierung mit konsistenten Ergebnissen zu erzielen, die für Anwendungen im Produktionsmaßstab konsistent repliziert werden können. Es verfügt über eine hochwertige zweiachsige Portalrobotik-Stützeinheit zur präzisen Bewegungssteuerung über die gesamte Verarbeitungskammer und enthält auch einen Wärmebildsensor zur Überprüfung des thermischen Profils des Substrats während der Verarbeitung. Das Portal sorgt dafür, dass das Substrat schnell und präzise an die gewünschte Bearbeitungsposition gebracht werden kann. Die leistungsstarken Massendurchflussregler sorgen für ein präzises Gasflussmanagement mit einer Vielzahl von Verbindungen und erfordern minimale Benutzereingriffe. Mit der fortschrittlichen Prozesssteuerungssoftware können mehrere Rezepte mit bis zu 10 Stationen pro Rezept im Speicher vorhanden sein. Die Maschine ist mit einer Vierviertel-Laderaumkonfiguration gebaut, so dass bis zu vier Wafer gleichzeitig be- oder entladen werden können. TCP 9400 wurde entwickelt, um komplexe Muster und dichte Strukturen mit Plasma und chemischem Ätzen zu verarbeiten. Es kann ein sofortiges Umschalten zwischen chemischen und Plasmaprozessen ermöglichen, was eine Produktion mit niedrigen Zykluszeiten ermöglicht. Die Plasmasysteme können bis zu 200 Watt Leistung liefern, was eine präzise Verwaltung von Ätzraten und einheitlichen Eigenschaften ermöglicht. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH TCP 9400 über eine fortschrittliche schnelle Bildverarbeitungsmaschine für die automatisierte Waferinspektion. Dieses Tool ist in der Lage, die kleinsten Merkmale mit Submikron-Auflösung zu messen und ist in der Lage, den gesamten Wafer innerhalb von Minuten abzubilden. Die Maschine ist mit eingebetteten Sicherheitsfunktionen ausgestattet und kann das Gas- und Druckmanagement überwachen, um ein zusätzliches Sicherheitsniveau zu gewährleisten. TCP 9400 ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der erhebliche Vorteile für Anwendungen zur Verarbeitung von Wafern mit hohem Volumen bietet. Dank seiner erweiterten Steuereinrichtung, seines Roboterunterstützungsmodells für zwei Achsen und seiner vielseitigen Prozessfunktionen ist es die ideale Wahl für präzise, konsistente Ergebnisse.