Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #9131590 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9131590
Wafergröße: 4"-8"
Poly/Nitride etcher, 8"
System configuration
Wafer transfer
Cassette to cassette
Chamber
1 Process Ch, 2 loadlock ch
Fixed gap electrode( 11.6cm)
1.25KW and 13.56㎒ RF power supply (Process Chamber Upper/Lower)
(RF generator Model : RFG 1250)
Automatic match system
3-Turn TCP coil
Electrode temperature unit interface
Photodiode optical endpoint detector
Electrostatic chuck (Process Chamber)
Bottom redial gas injection
Back HE cooling
1 Turbo pump(Seiko Seiki 2203)
Viton /Fsilicon O-Ring
Orbitally welded gas box
(3) Color Tower Lamps
System controller
Envision –E1.5.1 / LCD moniter
Pressure control
Automatic pressure control(VAT65)
Temperature control system
Single chiller(M&W) temp control range:-20℃~+80℃).
LAM RESEARCH TCP 9400 ist eine Ätz- und Aschereinrichtung, die für die Prozesssteuerung und -ätzung mit hohem Durchsatz bei maximaler Prozessflexibilität konzipiert ist. Es ist mit einer variablen Stromversorgung, einer digitalen x-y-z Bewegungssteuerung und dem UPC-Modul (Universal Process Chamber) ausgestattet. Dieses System nutzt eine SmartScan-Technologie, die ein präzises Ätzen ohne Driften ermöglicht und schnelle und genaue Ätztiefen und -oberflächen ermöglicht. TCP 9400 eignet sich zum Ätzen von Aluminium, Aluminiumlegierungen, elektrischen Leitungen und Edelstahl sowie anderen leitfähigen Materialien. Es verfügt auch über eine konstante Scan-Technik (CST) für verbesserte Prozesswiederholbarkeit und Genauigkeit. Diese Vorrichtung hat die Fähigkeit, eine Vielzahl von Materialien mit überlegener Prozesssteuerung genau zu ätzen. LAM RESEARCH TCP 9400 verfügt über eine ganze Reihe von Einstellungen zur Steuerung der Ätzparameter. Diese Einstellungen ermöglichen eine Feinabstimmung des Ätzprozesses auf maximale Ertragseffizienz. Darüber hinaus können die Einstellungen nach Bedarf leicht geändert werden, um die Anforderungen an den Ätzauftrag zu erfüllen. Das Gerät ist auch mit einer leistungsstarken Heizmaschine ausgestattet, die sowohl manuelle als auch automatische Steuerung ermöglicht. Dadurch kann der Anwender Prozesskammer und Substrat exakt erwärmen, um optimale Ätzergebnisse zu erzielen. Zusätzlich nutzt das Ätzwerkzeug Lüfterkühlungstechnologie für eine verbesserte Ätzleistung. Dieses Ätzgut verfügt über eine geschlossene Prozesskammer für verbesserte Ätzergebnisse und Sicherheit. Der 9400c ist zudem mit verbesserten Überwachungsfunktionen für die Prozesssteuerung sowie einem Softwarepaket ausgestattet, das eine verbesserte Kontrolle über den Ätzprozess ermöglicht. Die Software ermöglicht zudem eine einfache grafische Dateneingabe und Prozesssteuerung über die Benutzeroberfläche. Insgesamt ist LAM RESEARCH TCP 9400c ein sehr vielseitiges und flexibles Ätz- und Aschermodell. Es bietet eine ganze Reihe von Einstellungen für die Prozesssteuerung, einfache grafische Dateneingabe der Benutzeroberfläche und die Constant Scanning Technique (CST) für maximale Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Diese Ausrüstung ist ideal für eine Vielzahl von Ätzanwendungen und eignet sich zum Ätzen von Aluminium, Aluminiumlegierungen, elektrischen Leitungen und Edelstahl.
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