Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #9180765 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein leistungsstarkes Ätz- und Ascherwerkzeug für die FEOL (Front End Of Line) -Prozesse in der Halbleiterherstellung. Seine fortschrittliche Mehrfrequenz-Resonanztechnologie ist in der Lage, gleichzeitig reaktive Ionenätzung und Oxidation zu erreichen, um eine hohe Produktivität zu erreichen. TCP 9400 hat eine große Prozesskammer mit einer großen Substratfläche. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Substratbelastung, die eine hohe Produktivität und einen hohen Durchsatz bietet. Die Kammer verwendet auch elektrostatische Quetschspannungstechnologie, um einen einheitlichen und konsistenten Ätzprozess zu ermöglichen. Die Klemme hilft auch, Variabilität zu minimieren, was zu einer verbesserten Profilierung führt. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine niederfrequente Leistungsfrequenzumsetzungsfunktion, die das Risiko von Überätzen an Kanten und Ecken reduziert. Dies erhöht die Prozessgenauigkeit und Ausbeuten. LAM RESEARCH TCP 9400 bietet eine einheitliche Quellverteilung, die eine gleichmäßige Ätzung und Oxidation gewährleistet. Es nutzt auch Voreingenommenheit, um die Ätzselektivität zu verbessern und strukturierte Funktionen schnell vom Substrat zu entfernen. Die fortschrittliche Steuerungstechnologie des Tools ermöglicht es dem Benutzer, Bedingungen wie HF-Leistung und Timing genau zu überwachen und anzupassen. Dies hilft dem Benutzer, die Ätzbedingungen zu optimieren, um den Prozess auf die Substrat- oder KE-Größe anzupassen. TCP 9400 beinhaltet auch eine schnelle Zykluszeit. Dies ermöglicht die Produktion mit hohem Durchsatz. Darüber hinaus verfügt das Tool über integrierte Diagnosefunktionen, die eine schnelle Fehlererkennung und -wiederherstellung ermöglichen. Dies macht es für Produktionsumgebungen geeignet. Die erweiterten Softwarefunktionen ermöglichen auch eine vereinfachte Prozessoptimierung, Datenprotokollierung und Rezeptbearbeitung. LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein leistungsstarkes, vielseitiges Ätz- und Ascherwerkzeug, das den Anforderungen des FEOL-Marktes gerecht wird. Seine erweiterten Funktionen bieten hervorragende Verarbeitungsfunktionen und Durchsatz und ermöglichen gleichzeitig eine bessere Prozesskontrolle und -optimierung.