Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #9226361 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400 ist eine fortschrittliche elektromechanische Multifunktions-Ätz- und Aschermaschine. Diese Technologie wurde speziell entwickelt, um ein präzises Ätzen von Merkmalen auf Substraten wie Halbleitern, integrierten Schaltungen und mikroelektronischen Komponenten zu ermöglichen. TCP 9400 ist in der Lage, Materialschichten mit außergewöhnlichen Geschwindigkeiten und Präzisionsstufen zu aschen, zu reinigen und zu ätzen. LAM RESEARCH entwarf dieses System und die intelligente Steuerungstechnologie, die es ermöglicht, bis zu 5 nm Dickenregelungsgenauigkeit bei niedriger Temperatur (< 430C) zu erreichen. Dieser Ätzer/Ascher verwendet eine kompakte ablative Waferbearbeitungskammer mit einer räumlich konfigurierbaren Gasmatrix, um eine breite Palette von Prozessrezepten und Technologieknoten zu erreichen. Es verfügt auch über einen erweiterten abstimmbaren Pulsweitenmodulationsregler, der zur präzisen Steuerung des Energieeintrags in den Waferprozess verwendet wird. Dies ermöglicht es, stabile Prozessergebnisse während des Betriebs zu erzielen und reaktives Ionenätzen, chemisches Aufdampfen, Vorspannen und andere Prozesse schnell durchzuführen. LAM RESEARCH TCP 9400 ist mit einer Graphit Hot Plate ausgestattet, die sowohl temperatur- als auch selbstregulierend ist, um eine gleichmäßige Erwärmung des Substrats zu gewährleisten. Diese Temperatur wird dann regelmäßig überwacht und hat kundenspezifische Temperaturbereiche je nach Rezeptur und Prozesstyp. Für mehr Genauigkeit und Sicherheit verfügt dieses Ätzwerkzeug über einen Abstandsdetektor, der kontinuierlich den richtigen Abstand zwischen dem Ziel und dem Wafer-Spannfutter überprüft. Es hat auch eine erweiterte Sicherheitseinheit, die Verriegelungen enthält, die Prozessfehler erkennen können; Komponenten wie die Heizplatte, Vakuumpumpen und Gasversorgungsleitungen; und Flammionendetektor, der während des Ätzprozesses emittierte Radwaste-Gase überwacht. In Bezug auf die Leistung ist TCP 9400 in der Lage, große Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll zu handhaben und verfügt über eine durchsatzstarke Maschine, die ein synchrones Be- und Entladen von Wafern ermöglicht. Es verfolgt automatisch Kammerkammermessgrößen wie Temperatur, Druck und Gasdurchfluss, um einen stabilen Prozess während des gesamten Ablaufs zu gewährleisten. LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein effektives Ätz- und Ascherwerkzeug, das für Prozesse wie das Ätzen integrierter Schaltungen, Dünnschichtmetallisierung, Verbundhalbleitermaterialien, Pyrexglas und dielektrische Schichten mit niedrigen k vorteilhaft ist. Seine Fähigkeit, eine präzise Dickensteuerungsgenauigkeit und eine präzise Temperaturregelung zu erreichen, macht es besonders gut für die Herstellung von Halbleiterbauelementen geeignet.