Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #9226362 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein Ätzer/Ascher, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen zum Auftragen bestimmter Materialschichten während des Gerätebildungsprozesses verwendet wird. TCP 9400 verwendet eine TCP-Schnittstelle (Technology Communication Protocol) für die Vernetzung von Prozesswerkzeugen und bietet ihnen die Möglichkeit, miteinander zu interagieren und Parameter wie Gasfluss, Temperatur, Zeit und Druck zu koordinieren, um maximale Prozessleistung zu erzielen. LAM RESEARCH TCP 9400 kann Substrate mit einer Größe von bis zu 500 mm ätzen und verfügt über eine patentierte ZRide™-Plattform, die eine stabile, reibungsarme Bewegung bietet und enge Wafermuster auf der Prozessflächenhöhe beibehält, was für die Wiederholbarkeit der Waferfläche und die Gleichmäßigkeit der Prozesse wichtig ist. TCP 9400 nutzt die Gasflow™-Technologie von LAM, die schnell wirkende Reaktionsventile (FAR™) verwendet, um Prozessgase präzise zu ermöglichen und zu deaktivieren, um schnell wiederholbare Prozessergebnisse mit Feinabstimmung auf spezifische Anforderungen zu erzielen. Darüber hinaus verfügt die Anlage über Dynamic Inerting™, die ein schnelles Umschalten von Inert- und Prozessgasen ermöglicht, um schnell auf Veränderungen in den Anforderungen des Auftrags reagieren zu können, und eine hohe Kontrolle und Gleichmäßigkeit für Vakuumprozesse bietet. Darüber hinaus verfügt das System über ein proprietäres automatisiertes Wafer-Handling-Gerät, das eine Einzelwafer- und Lot-of-Wafer-Verarbeitung sowie eine LPL-Kammer (Low-Pressure Loadlock) ermöglicht, die eine schnelle Substratvorreinigung und -beladung ermöglicht. LAM RESEARCH TCP 9400 ist in der Lage, mehrere Ports innerhalb einer einzigen Kammer zu steuern, um ein kontrolliertes Umschalten der Gase zwischen den Ports zu ermöglichen. Um die Sicherheit zu gewährleisten, ist TCP 9400 mit einer Reihe von Hardware- und Software-Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die den unbefugten Zugriff auf die Prozesskammer verhindern sowie Temperatur-, Druck- und Feuchtigkeitswerte überwachen. LAM RESEARCH TCP 9400 verfügt auch über eine Spill-Erkennungsmaschine, die automatisches Herunterfahren und Reinigen auslöst, wenn exotische Materialien vom Werkzeug erkannt werden. TCP 9400 ist ein umfassendes All-in-One-Etcher/Asher-Asset für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Mit seiner TCP-Schnittstelle, der Gas-Flow-Technologie, dynamischen Inertisierungsfunktionen, dem automatisierten Wafer-Handling-Modell und verschiedenen Sicherheitsmerkmalen bietet LAM RESEARCH TCP 9400 anspruchsvolle Steuerungsstufen und Präzision für wiederholbare Ergebnisse.