Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #9233832 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der robuste, schnelle und hochpräzise Waferätzprozesse ermöglicht. Die Maschine ist in der Lage, sowohl nasse als auch trockene Ätzschritte durchzuführen und bietet eine hervorragende Kontrolle über alle Ätzparameter. Die Ätzkammer enthält mehrere Reaktanten- oder Trägerkammern sowie ein Heizmodul, das Temperaturen bis zu 650 ° C zum Trockenätzen und bis zu 600 ° C zum Nassätzen aufrecht erhalten kann. Darüber hinaus verfügt es über einen HF-Generator zur Steuerung der HF-Leistung sowohl bei nassen als auch bei trockenen Ätzanwendungen. Die Maschine verfügt auch über einen fortschrittlichen Halbleiterverarbeitungsroboter, der Wafer im hochpräzisen Ätz- oder Ascheprozess präzise und schnell handhaben kann. Der Roboter ist in der Lage, 4 „bis zu 8“ Wafer zu handhaben. Die Maschine enthält auch ein Instrumentierungspaket, das eine Multi-Prop-Sensorkammer enthält, die zusätzliche Kontrolle über mehrere Ätzparameter wie Durchfluss, Druck, Temperatur und HF bietet. TCP 9400 verfügt zudem über ein druckbasiertes Gasfördersystem mit hoher Geschwindigkeit. Dieses System verwendet eine Kombination aus Hochdruck- und Niederdruckgasen, um gleichmäßiges Ätzen oder Aschen über den gesamten Wafer zu liefern. Ein Helium-basiertes Gasfördersystem ist ebenfalls verfügbar, das eine zusätzliche Kontrolle über Ätzseitenverhältnisse und Ätzselektivität ermöglicht. Die Maschine enthält auch ein fortschrittliches Steuerelektronik-Paket, das sowohl manuelle als auch automatisierte Ätz-/Ascheprozesse unterstützt. Die umfangreiche Anwendungsbibliothek bietet Anwendern vielfältige Möglichkeiten zur manuellen und automatischen Steuerung des Prozesses. Der Display-Touchscreen bietet zudem eine intuitive Benutzeroberfläche, die die Programmierung und Überwachung des Prozesses einfach und unkompliziert macht. Insgesamt ist LAM RESEARCH TCP 9400 ein fortschrittlicher, flexibler, hochpräziser Ätzer/Ascher, der den anspruchsvollen Anforderungen moderner Halbleiterverarbeitung gerecht wird. Sein robustes Design und seine leistungsstarken Funktionen machen es zu einem wertvollen Kapital für jede Halbleiterherstellungsanlage.