Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400 #9364645 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9400 Ascher/Ätzer ist ein reaktives Ionenätzgerät (RIE), das zum Trockenätzen von anspruchsvollen Materialien unter Verwendung verschiedener Chemikalien wie CF4, NF3,SF6 und O2 entwickelt wurde. Dieses System hat die Fähigkeit, Merkmale auf einem Substrat in einer stark reproduzierbaren und wiederholbaren Weise anzuätzen. Es kann mit rückverfolgbarer Formelementgrößengenauigkeit und Gleichmäßigkeit sowohl in planarer als auch in dreidimensionaler Form geätzt werden. Es ist mit der neuesten Zwei-Kammer-Technologie ausgestattet - LaB6 und die neue WFMS-Kammer. Das LaB6, das für „Low Pressure Acoustic Barrier Etching“ steht, eignet sich hervorragend für Bariumfluorid, Silizium und dotiertes Siliziumätzen. Die neue WFMS-Kammer wurde kürzlich hinzugefügt, die für „Wide Area Field Mass Spectrometry“ steht und ideal für die Verarbeitung von Geräten und gemusterten Wafern geeignet ist. TCP 9400 Ätzer/Ascher verwendet fortschrittliche Medienliefersysteme, die eine präzise Abgabe von Gasen und Chemikalien ermöglichen. Es verfügt auch über Gas Flow Control Unit (GFCS) mit „total“ und „partiell“ Gasnebelsteuerung. Darüber hinaus ist in beiden Kammern eine Fernüberwachung möglich, die eine Prozesssteuerung und eine Rückkopplung der Prozessdaten ermöglicht. LAM RESEARCH TCP 9400 Ascher/Ätzer bietet auch hochentwickelte Wafer-Transportmöglichkeiten. Mit der halbautomatischen Wafer-Be-/Entlademaschine können Wafer in beide Kammern transportiert werden. Dieses komfortable Werkzeug ermöglicht eine sichere, automatisierte und messtechnisch geprüfte Wafer-Handhabung. TCP 9400 Ascher/Ätzer ist mit einem selbst funktionierenden Computerlaufwerk konzipiert. Diese Funktion garantiert einen störungsfreien Betrieb und erspart jede Art von Programmierung. Das Asset bietet schnelle Abruf- und Entladezeiten für Wafer und ist für eine Vielzahl von Batch- und Single-Wafer-Prozessen konzipiert. Es verwendet auch einen neuartigen Plasmagenerator, eine geringe thermische Belastung, eine automatische Waferorientierung und Seitenwandätzfähigkeiten. LAM RESEARCH TCP 9400 etcher/asher ist eine unschätzbare Ressource zur Steuerung und Ausführung von schnellen Ätzprozessen. Seine große Vielfalt an fortschrittlichen Funktionen macht es ideal für die Herstellung von qualitativ hochwertigen, hochzuverlässigen Teilen und Komponenten. Es eignet sich ideal zum schnellen, präzisen Ätzen einer Vielzahl von Materialien, darunter reine Silizium-Wafer, harzbeschichtete Wafer, Silizium-auf-Isolator (SOI) Wafer, Metall-Oxid-Halbleiter-Wafer (MOS) und eine Vielzahl anderer Abscheidungsmaterialien.