Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9400B #9402507 zu verkaufen
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LAM RESEARCH TCP 9400B ist ein hochpräziser Ätzer und Ascher, der speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen mit engen Anforderungen an die Prozesssteuerung entwickelt wurde. Mit seinem patentierten Gasschrank ist TCP 9400B in der Lage, schnellere, gleichmäßigere Ergebnisse mit höheren Durchsätzen als andere Modelle zu erzielen. Es bietet branchenführende Leistung und Zuverlässigkeit und ist somit ideal für unternehmenskritische Anwendungen wie MEMS, RF, Advanced FTIQ und ultradünne Waferverarbeitung. Die Gasschranktechnologie von LAM RESEARCH TCP 9400B entfernt Gasmoleküle, die durch die Kammerwand gezogen werden, was zu einer viel besseren Gleichmäßigkeit und Geschwindigkeit des Ätzens führt. Diese verbesserte Prozesssteuerung bedeutet kleinere Hinterschneidungen, bessere Profilkonformitäten und weniger Hohlräume. Eine patentierte dreieckige Phasenverschiebungs-Magnetronquelle liefert mehr als 95% Gleichmäßigkeit für das Ätzen von dicken Filmen. Das fortschrittliche PID-Steuerungssystem verfügt über eine automatische Frequenzabstimmung und ein lebensechtes Modell zur kontinuierlichen Überwachung der Ätzbedingungen. Die Maschine verfügt über ein einzelnes Spannfutter und zwei Prozesskammern, so dass Benutzer im selben Auftrag ätzen und aschen können, ohne das System zu verlassen. Es unterstützt Substratgrößen von 2 bis 6 Zoll und Drehzahlen bis zu 11.000 U/min. Der Prozesstemperaturbereich liegt zwischen -10 ° C und + 400 ° C, wodurch eine Kompatibilität mit nahezu allen Ätz- und Ascheprozessen gewährleistet ist. Weitere Merkmale sind ein interner 24-Bit-LCD-Farbdisplay, eine Ethernet-Konnektivität mit dem Protokoll Network Addressable Remote Control (NARC 2), ein patentiertes Stromversorgungsdesign mit geringem Verbrauch und eine Vielzahl von Sicherheitssystemen, einschließlich eines integrierten Burst-Druck-Benachrichtigungssystems und ESD Schutz. TCP 9400B bietet herausragende Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Die fortschrittliche Prozesssteuerungstechnologie und das innovative Design machen es zu einer idealen Wahl für präzise Ätz- und Ascheanwendungen.
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