Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9014916 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9014916
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Etcher, 8"
Currently warehoused
2000 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9408SE Asher ist ein hochgenaues, mittelschweres Nassätzwerkzeug für die Dampfphase, das sich gut für die Anforderungen der Massenproduktion und Prozessentwicklung eignet. Der Asher bietet die Präzision, den Durchsatz und die Wiederholbarkeit, die für die heutigen ultimativen Photomasken-Prozesse erforderlich sind. Es wurde entwickelt, um eine breite Palette spezialisierter Prozesskomplexitäten und gehobene Produktion mit minimalem Benutzeraufwand und minimalen Prozesszykluszeiten zu bewältigen. Es bietet eine Reihe von Vorteilen gegenüber anderen Ätzsystemen, einschließlich der automatischen Feinsteuerung von Prozessparametern wie Durchfluss, Temperatur, Druck und Zykluszeit. Es verwendet einen dampfförmigen, adiabatischen Ätzprozess, der einen konsistenten und optimalen Ätzprozess ermöglicht. Dadurch entfällt der Bohrer der manuellen Prozesszustandsoptimierung. Die ultrapräzise digitale Durchflussregelung sorgt für die maximal zulässigen Ätzraten, ohne kritische Abmessungen zu homogenisieren. Die Temperatur- und Druckstabilität bietet ein breites Prozessfenster für Ätzrate und Substrattemperatur. Es verfügt über eine intuitive Windows-basierte Touchscreen-Benutzeroberfläche mit Prozessprotokoll, die eine Echtzeit-Überwachung der Ätzprozessbedingungen bietet, ohne dass eine manuelle Prozessüberwachung erforderlich ist. Die zuverlässige, bewährte DV12-Prozesstechnologie des Asher bietet erstklassige Leistung und echte Prozessvielfalt und wird durch eine dreijährige begrenzte Garantie unterstützt. Es hat ein flexibles, kompaktes Design, das einfach zu installieren ist und im Vergleich zu herkömmlichen Nassätzsystemen einen minimalen Platzbedarf erfordert. Der Asher ist mit angetriebenen Waferheizungen sowie Temperatur-, Druck- und Durchflusskontrollen erhältlich, die direkt an die Frontplatte geleitet werden. Es bietet ein integriertes, automatisiertes Quelle-Gas-Zufuhrsystem für eine breite Palette von Ätzchemikalien, mit automatischer Spülung der Kammer zwischen Zyklen und automatischer Regelung von Druck und Temperatur beim Ätzen. Der TCP-CN-9408SE Asher ist zudem mit einem Einschaltsicherheitsschalter und einem Not-Aus-Schalter ausgestattet. Der Asher bietet auch die Möglichkeit, Prozessrezepte mit Benutzerhandbüchern zu speichern und ermöglicht einen schnellen Wechsel von Prozesschemien oder Prozessparametern. Dies gewährleistet die volle Prozessrückverfolgbarkeit und Wiederholbarkeit und eignet sich somit für die Herstellung von hochvolumigen, komplexen Photomasken. Der TCP-CN-9408SE Asher ist die ideale Lösung, um den Kundendurchsatz zu maximieren und gleichzeitig die Betriebskosten zu minimieren.
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