Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178705 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9408 SE ist eine leistungsstarke eigenständige Ätz- und Aschermaschine. Es ist ein Hochleistungs-Silizium-Wafer-Ätzer und Ascher-System, das speziell entwickelt wurde, um die anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen und gleichzeitig Anwendern die Möglichkeit zu bieten, eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten. Das Gerät wird durch eine präzise, hochautomatisierte Plattform gebildet, die mit einem Hochgeschwindigkeits-Rotationsätzkopf ausgestattet ist, der eine hervorragende Plasmagleichförmigkeit bietet und die Ätzzeit reduziert. Die Maschineneigenschaften umfassen eine temperaturgesteuerte Turbopumpe, die ein Ätzen und Aschen mit maximaler Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit ermöglicht, sowie eine High-End-Prozesssteuerung, die Anwendern die Fähigkeit bietet, Ätzrate, Überätzen, Filmdicke und Endpunkt genau zu steuern. TCP 9408 SE ist auch mit einem Paar fortschrittlicher On-Board QCM/PCM/FIB-Detektoren und einem Off-Board-Massenspektrometer ausgestattet, die eine präzise Endpunktdetektion liefern und eine präzise Ätzung und Asche gewährleisten. Darüber hinaus ist das Tool vollständig programmierbar, so dass Benutzer verschiedene Rezepte erstellen und speichern sie, sowie sie schnell zurückrufen und Ätz- und Ascherei mit minimaler Ausfallzeit durchführen. Die Benutzeroberfläche ist intuitiv und benutzerfreundlich, so dass Bediener den gesamten Prozess bequem steuern und überwachen können. Darüber hinaus stehen eine Reihe von Diagnose- und Prozessüberwachungstools innerhalb der Benutzeroberfläche zur Verfügung, die die Auswahl und Überprüfung des besten Gesamtprozessablaufs ermöglichen. LAM RESEARCH TCP 9408 SE liefert präzises und robustes Ätzen und Aschen, wodurch Anwender die höchste Prozessgleichmäßigkeit erreichen können, ohne den Prozessdurchsatz zu beeinträchtigen. Diese Anlage eignet sich hervorragend für Ätz- und Ascheprozesse wie Siliziumätzen, Spannungsentlastung und Dotierstoffsputtern und bietet eine hervorragende Leistung für alle Arten von Materialien, einschließlich III-V und High-K-Dielektrika. Insgesamt ist TCP 9408 SE ein ausgezeichnetes Ätz- und Aschermodell, das die Prozesswiederholbarkeit, Produktivität und Qualität der Halbleiterherstellung weiter verbessert.