Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178706 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9408 SE ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die den höchsten Durchsatz und Ertrag für erweiterte MEMS, MEMS-fähige und Wafer-Level-Packaging (WLP) -Prozesse bietet. Das System verwendet fortschrittliche laserbasierte Scan- und Ablationstechniken, um dünne dielektrische und Polyimidschichten auf einer Reihe von Substraten wie Glas, Quarz, Saphir, CVD/PECVD und anderen Spezialmaterialien zu strukturieren. Das Gerät bietet überlegene Ätzgenauigkeit und Wiederholbarkeit, was präzisere Merkmalsdefinitionen, Wiederholbarkeit und höhere Ausbeute ermöglicht. TCP 9408 SE Maschine hat die Fähigkeit, die fortschrittlichsten dielektrischen Schichten und Polyimidschichten mit höchster Präzision und Wiederholbarkeit abzuleiten. Das Werkzeug ist mit einem Hochleistungslaser ausgestattet, der kalibriert und auf das Substrat fokussiert ist, so dass das Asset hochauflösende Musterfunktionen erzielen kann. Der zuverlässige und schnelle Ablationsprozess des Lasers sorgt dafür, dass die kompliziertesten Muster erreicht werden können. Das Modell ist mit einer integrierten Wafer-Handhabung ausgestattet, die einen hohen Durchsatz ermöglicht. Dieses Wafer-Handhabungssystem umfasst eine Wafer-Ausrichtstation, eine Wafer-Kühleinheit und eine Wafer-Austauschstation. Die Ausrichtstation umfasst eine hochgenaue Bewegungssteuerung und eine visionsbasierte Bestimmung der exakten Position des Substrats für eine genaue Laserablation. Die Waferaustauschstation kann bei minimaler Prozessunterbrechung schnell Substrate wechseln. LAM RESEARCH TCP 9408 SE Maschine verfügt auch über automatisierte Prozesssteuerung und Überwachung, um sicherzustellen, dass Prozessparameter in Echtzeit für genaue und wiederholbare Ätzung und Ablation angepasst werden. Diese automatisierte Prozesssteuerung wird durch ein hochpräzises Laser-Vision-Tool ermöglicht, das eine dreidimensionale Abbildung des Substrats vor der Ablation ermöglicht. Die Ablationsparameter können dann ohne manuelle Bedienung problemlos an die Prozessvorgaben angepasst werden. Die Anlage wurde entwickelt, um die strengsten Industriestandards zu erfüllen, mit niedrigen Betriebskosten und überlegener Zuverlässigkeit. Um konsistente und hohe Ertragsergebnisse zu gewährleisten, ist das Modell benutzerfreundlich und wird von LAM RESEARCH branchenführender Unterstützung unterstützt. Diese fortschrittliche Ätz-/Ascher-Ausrüstung ist perfekt für komplexe MEMS und WLP-Anwendungen und bietet den höchsten verfügbaren Durchsatz und Ertrag.