Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178710 zu verkaufen

ID: 9178710
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Poly etcher, 8" Software version: 1.6.012A SMIF System: (2) ASSYST Process chms: (1) SCCM Hardware configuration (Subfab / Auxilliary units): (1) AC Power box (2) RF Racks 2004 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9408 SE ist ein Präzisionsätzer/Ascher mit einer fortschrittlichen thermischen Steuerung, die zuverlässige Ätz-, Asche- und kombinierte Ätz-/Ascheprozesse bietet. Dieses System verfügt über horizontal silikonisierte Kammerwände, um mechanischen Schock, Flats und Spülen mit reinem Wasser zu reduzieren. Es verfügt über eine benutzerfreundliche, intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die Bedienung erheblich vereinfacht. Das Gerät ist für die Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Metall, Silizium, Keramik und Glas. TCP 9408 SE verfügt über eine Helium-Spülgasmaschine, die eine konstante Druck- und Temperaturregelung bietet. Dieses Werkzeug ist für maximalen Durchsatz mit einer schnellen Prozesszykluszeit bis maximal 14 Kammerzyklen pro Stunde ausgelegt. Die Ätz-/Ascheprozesszeit liegt je nach Substrattyp und Prozessparameter zwischen 5 und 7 Minuten. Darüber hinaus verfügt das Asset über maximal 5 Prozessrezepte, sodass der Benutzer Rezepte für verschiedene Anwendungen speichern und abrufen kann. LAM RESEARCH TCP 9408 SE verfügt über ein robustes Design, mit der Fähigkeit, größere Teile und höhere Ätz-/Aschebelastungen aufzunehmen. Das Modell ist in der Lage, bis zu 2 kg Material mit einer Ladungsgröße von 4 bis 6 cm zu verarbeiten. Es umfasst auch seitliche, motorisierte Kammer- und Abdeckbewegungen, um unterschiedliche Größen/Formteile aufzunehmen. TCP 9408 SE Ausrüstung hat eine hochauflösende Arbeitskammer, mit einer 1 Mikron beheizten Stufe. Die Prozesskammer wird elektronisch beheizt, mit einem Temperaturbereich von bis zu 1050 ° C. Darüber hinaus verfügt das System über eine optionale Kühlung der beheizten Stufe mit einem Kühlbereich von -60 ° C. Das Gerät bietet volle Überwachung und Kontrolle der Ätz-/Ascheparameter; der Heliumspüldruck, die Temperatur und die Kühlgeschwindigkeit. Es hat auch einen automatischen Zyklusstopp und eine Gasmanagementmaschine, wo der Benutzer die Prozessparameter und die Zykluszeit überwachen kann. LAM RESEARCH TCP 9408 SE verfügt über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, darunter einen Sicherheitsverriegelungsdeckel, eine doppelte hermetische O-Ring-Dichtung, Verriegelung und Überlasterkennung sowie ein Fehlerisolierungswerkzeug. Die Anlage ist für eine optimale Gefahrenkontrolle und Anwendersicherheit ausgelegt, mit einer Reihe von Schutzalarmen und einer zusätzlichen Abschirmung. Abschließend ist TCP 9408 SE ein zuverlässiger und robuster Ätzer/Ascher mit einem fortschrittlichen thermischen Regelungsmodell. Es bietet eine Vielzahl von Prozessparametern und Sicherheitsmerkmalen, mit einer schnellen Prozesszykluszeit und hohem Durchsatz. Das Gerät ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu verarbeiten, mit einer hochauflösenden Arbeitskammer und einer benutzerfreundlichen GUI.
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