Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #293809929 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 ist ein fortschrittlicher Ascher für die Hochleistungs-Photomasken-Herstellung und Gerätebearbeitung. Dieser Ascher eignet sich für Anwendungen wie Halbleiterverpackungen, Optoelektronik, IC-Fertigung und verbundene Waferherstellung. Das Gerät wird normalerweise als Teil eines eigenständigen Geräts oder eines Clustersystems installiert. LAM RESEARCH TCP9600 ist eine Einkammer-Offenrahmen-Ätzeinheit, bestehend aus einer Lastschloßkammer und zwei Ätzkammern. Die Ätzkammern sind mit Hoch- und Niederdruck- AR/O2 Plasmaquellen und einer rotierenden Anodenquelle ausgestattet. Die Plasma- und HF-Quellen bieten Flexibilität und ermöglichen das Ätzen verschiedener Materialien mit unterschiedlichen Ätzraten. Die Maschine ist kompatibel mit Wafern mit einem Durchmesser von 6 Zoll (150 mm) und verschiedenen speziellen Substraten, einschließlich Quarz, Saphir und anderen. Das Tool verfügt über ein integriertes Echtzeit-Endpunkt-Erkennungs-Asset (RED), mit dem das Modell mit hoher Präzision geätzt werden kann. Die RED-Geräte automatisieren den Kalibrierungsprozess, und Lernalgorithmen sorgen für optimale Ätzergebnisse. Darüber hinaus umfasst das System eine erweiterte Prozesssteuerung mit geschlossenem Regelkreis, mit der der Benutzer seine Endpunkterkennung optimieren kann. In TCP-9600 Einheit ermöglichen fortschrittliche Substrat-Bewegungssteuerungsalgorithmen präzise Substratplatzierung und gleichmäßiges Ätzen. Diese Algorithmen machen auch die Substrattemperatur aus, was eine gleichmäßige Wärmeerzeugung und gleichmäßige Ätzung gewährleistet. Die Maschine ist mit zahlreichen Sicherheitsmaßnahmen ausgestattet, darunter ein integriertes Sicherheitsverriegelungswerkzeug, eine Not-Aus-Taste und eine HF-fähige Sicherheitseinrichtung. Dies gewährleistet jederzeit einen sicheren und zuverlässigen Betrieb der Einheit. Dieses Modell ist so konzipiert, dass es einfach zu bedienen und zu warten ist. Das Gerät verfügt über einfache Bedienungsschirme mit verständlicher und klarer Rückmeldung bei Bedienungsfehlern. Das System verfügt auch über einen Temperaturregler, einen Temperaturwächter und einen Drucksensor, so dass der Benutzer jeden Prozess verfolgen kann. Darüber hinaus hilft die Fehlerwarneinheit bei der Früherkennung abnormer Operationen. TCP9600 ist ein fortschrittlicher und zuverlässiger Ascher, der für die Hochleistungs-Photomasken-Herstellung und Gerätebearbeitung entwickelt wurde. Die Einheit bietet präzise Substratplatzierung, einheitliches Ätzen und erweiterte Sicherheitsfunktionen. Einfache Bedienung und Wartung vereinfachen den Einsatz dieser Maschine weiter.