Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #9296670 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9296670
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Metal etcher, 8"
DSQ Chamber
Stand alone
Handler type: Auto loader
EQUIP Robot type
End effecter
SEMI: E84
AC Dist box
Pre-aligner
ESC
Cables included
1997 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 CFE ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der von der LAM RESEARCH Corporation entwickelt wurde. Diese Ausrüstung beinhaltet die neueste Ätz- und Aschetechnik. Es verfügt über ein ultra-hohes Produktivitätsdesign und bietet eine einfach zu bedienende Plattform, die schnelle und zuverlässige Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. LAM RESEARCH TCP 9600CFE ist leicht, aber dennoch sehr langlebig mit einem geschlossenen Niederdruckbetrieb, der hilft, konsistente Ätz- und Ascheprozesse zu gewährleisten. Es hat eine sehr gleichmäßige Abscheidung über eine breite Palette von Substraten und verfügt über Festkörper-optische digitale Emissionssteuerung durch ein Netzwerk von drei Farbvideokameras. Dieses digitale Emissionsschutzsystem trägt dazu bei, konsistente und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. TCP 9600 CFE ist mit drei hocheffizienten elektrooptischen Köpfen ausgestattet, die fortschrittliche Plasmabrenner-Technologie verwenden und eine Ionenstrahl-Extraktionseinheit für höchste Qualität der Ätz- und Ascheprozesse besitzen. Dies ermöglicht einen minimalen Substratabbau und die Erzielung einer feinen Linienätzung und einer hohen Seitenverhältnisveraschung. TCP 9600CFE ist eine skalierbare, modulare Plattform, die für die Einzelwafer- oder Batch-Verarbeitung aktualisiert werden kann und eine effiziente Wafer-zu-Wafer-Synchronisation bietet. Es bietet auch multipositionale Substratpositionierung und kann leicht in andere Stützsysteme wie Gaszufuhr und Abgas integrieren. Insgesamt ist LAM RESEARCH TCP 9600 CFE ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der von LAM RESEARCH Corporation entworfen und hergestellt wurde. Es ist eine leichte und sehr langlebige Maschine mit einer gleichmäßigen Abscheidung über eine breite Palette von Substraten und drei hocheffiziente elektrooptische Köpfe. Es ist auch eine skalierbare und modulare Plattform, die für die Einzelwafer- oder Chargenverarbeitung aufgerüstet werden kann und sich problemlos mit anderen Trägersystemen wie Gaszufuhr und Abgas integrieren lässt.
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