Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #131567 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist eine Mehrkammer-Ätz-/Ascher-Ausrüstung für Halbleiterbauelemente, MEMS und andere Komponenten. Das System verfügt über eine Drei-Kammer-Konstruktion, die ein präzises Ätzen und Aschen kritischer Komponenten ermöglicht. Die Temperatur in jeder Kammer kann geregelt werden, um eine gleichmäßige Temperatur zu gewährleisten, und die Prozessparameter sind für die verschiedenen verwendeten Substrate einstellbar. Die integrierte Präzisionshandhabungseinheit sorgt für wiederholbare Ergebnisse und die Sauberkeit der Maschine wird durch ihre hocheffizienten Partikelluftfilter (HEPA) gewährleistet. LAM RESEARCH TCP 9600SE ist ein zuverlässiges, sicheres und effizientes Werkzeug, das einen konstanten Gasfluss während des gesamten Ätz- und Ascheprozesses ermöglicht. Es enthält auch einen Quarzduschkopf mit einstellbarem Durchfluss, der in der Lage ist, ein einheitliches Ätz-/Aschemuster bereitzustellen, und es gibt ein automatisiertes Kalibrierelement, das verwendet werden kann, um die Größe, das Muster und die Prozessparameter schnell und einfach einzustellen. Der Raum des TCP 9600 SE wird rostfreien Stahls gebaut, und wird mit einem enthalpy Bläser konfiguriert, der eine Unterdruck-, Hoch-Geschwindigkeitsgasdusche bietet. Die Gasdusche dient zur gleichmäßigen Verteilung von Ätz- und Ascheprodukten sowie zum Schutz von Komponenten vor Verschmutzungen. Das Modell umfasst auch eine Trockenring- und Nassring-Vakuumausrüstung, die während des gesamten Ätz- und Ascheprozesses gleichbleibende Kammerdrücke und Temperaturen gewährleistet. TCP 9600SE ist für den Einsatz mit verschiedenen Substratkonfigurationen konzipiert. Es ist kompatibel mit Aluminium, Silizium und Glassubstraten sowie anderen Materialien wie Edelstahl, Platin, Wolfram und Hartgold. Auch andere Substrate wie hochdichtes Polyethylen, Polyimid und Kapton können mit dem System verwendet werden. Das Gerät ist für eine einfache Wartung und Reparatur konzipiert und enthält ein Softwarepaket, mit dem Bediener die Maschinenleistung überwachen können, um eine maximale Betriebszeit zu gewährleisten. LAM RESEARCH TCP 9600 SE verfügt zudem über eine Fernüberwachungsfunktion, die es Technikern ermöglicht, bei Bedarf auf Daten zuzugreifen und Anpassungen vorzunehmen sowie auf eine Rezeptbibliothek zuzugreifen, mit der Standardprozesse schnell ausgewählt und implementiert werden können. Abschließend ist LAM RESEARCH TCP 9600SE eine effiziente und präzise Maschine, die sich perfekt zum Ätzen und Veraschen von Komponenten in die gewünschten Formen und Größen eignet. Mit seinen fortschrittlichen Temperaturregelungen, Präzisionshandhabungssystemen, einer einheitlichen Gasverteilung und einer anpassbaren Software ist es ein ideales Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.