Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293636060 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist eine fortschrittliche Plasmaätzausrüstung, die für überlegene Ätzleistung und hohe Produktivität entwickelt wurde. Mit einer Gesamtkammerlänge von 73 Zoll ist das System in der Lage, ein- und doppelseitige Wafer mit einer maximalen Größe von 6 Zoll zu handhaben. Die Kammer ist vakuumdicht und umfasst eine horizontale Ätzzone und eine Isolationszone zur Steuerung der Substratbelastung während des Ätzvorgangs. Das Gerät verfügt außerdem über eine temperaturgeregelte Kammer, die die Arbeitsumgebung des Wafers auf ihrem optimalen Niveau hält. LAM RESEARCH TCP 9600SE ist mit einem voll integrierten Multi-Tool/Stationen, 350-Volt-Hauptleistungspanel und einer Reihe von externen Verteilern ausgestattet, die eine flexible Transportführung und Prozessgaslieferung (N2, H2, Ar) bieten. Die Maschine verwendet auch eine hochauflösende induktiv gekoppelte Plasmaquelle, die in der Lage ist, Plasma mit hoher Energiedichte mit ausgezeichneter Leistungsregelung bereitzustellen, was eine bessere Prozesssteuerung und verbesserte Ätzqualität ermöglicht. Darüber hinaus verfügt TCP 9600 SE über eine integrierte Software-Suite, die Anwendern eine intuitive Kontrolle über das Werkzeug bietet und es dem Anwender ermöglicht, Prozessparameter wie die Dauer und die Plasmaleistung des Ätzzyklus zu ändern. Es enthält auch eine Reihe von automatisierten Funktionen wie automatische Geschwindigkeits- und Abstandsregelung, Fernauswerferstation für Vakuumbetrieb und automatische Substratregistrierung für genaues Ätzen. TCP 9600SE verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie Plasmadrucksteuerungen und automatische Notabschaltung, die die Sicherheit von Personal und Ausrüstung gewährleistet.