Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293752314 zu verkaufen

ID: 293752314
Wafergröße: 6"
Etcher, 6" Robot type: Shuttle film Molecular sieve Gases: CL2, BCL3, O2, HE, SF6, N2, CF4 (2) Chambers: Used for etching and glue remover Missing parts: Load / unload index End point detector.
LAM RESEARCH 9600 SE (Self-Etch/Self-Ash) ist eine innovative Ätz- und Aschemaschine zum Ätzen und Aschen auf kleinen Substraten. Das System verwendet eine Inhaltsstoff-in-der-Flasche-Technologie, um kleinteiliges Material von der Oberfläche des Substrats hinzuzufügen oder zu entfernen. Der Ätzprozess wird computergesteuert und das Rezept kann auf die Anforderungen des Anwenders zugeschnitten werden, so dass der Anwender eine hohe Präzisionsätzung von bis zu 0,3 Mikrometer Dicke erreichen kann. LAM RESEARCH 9600 SE ist eine vollständig geschlossene Einheit, die die Sicherheit des Betriebs verbessert und schädliche Emissionen reduziert. Es ist mit einem Regelkreis-Feedback ausgestattet, das einen genauen und zuverlässigen Betrieb gewährleistet, während die integrierte Prozesssteuerungssoftware eine einfache Programmierung der Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Die Maschine wird mit einem internen TCP (Thermo-Control-Prozessor) gebaut, der die Temperatureinstellungen automatisch verwaltet und eine präzise Temperaturregelung für die Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Es arbeitet in einem Temperaturbereich von 50 ° C 980 ° C, um optimale Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. Das Tool verfügt über einen Geräuschpegel von weniger als 55dBA und verfügt über eine benutzerfreundliche Sieben-Zoll-Touchscreen-Schnittstelle, die eine umfassende Steuerung für das Modell bietet. Die Ausrüstung verfügt über langlebige Edelstahlkonstruktion, so dass es beständig gegen Korrosion und Verschleiß, und es wird von einem Drehstrommotor für mehr Leistung und Zuverlässigkeit angetrieben. Es verwendet fortschrittliche Vakuumtechnologie für ideale Asche- und Ätzergebnisse und ist auch mit einem Echtzeit-Timer ausgestattet, der eine automatische Abschaltung nach einer voreingestellten Zeit ermöglicht. LAM RESEARCH 9600 SE ist mit einer proprietären Plasmadruckfertigen Technologie gebaut, die es ermöglicht, zusätzliche Gasdrücke während der Ätz- und Ascheprozesse zu verwenden. Das System verfügt über eine Hochleistungs-Vakuumquelle und ist für eine breite Palette von Materialien wie Metall, Keramik, Kunststoff und Keramik ausgelegt. LAM RESEARCH 9600 SE hat einen Prozesstemperaturbereich von bis zu 275 ° C, und mit seinen schnellen Übergangszeiten, seiner hochpräzisen Leistung und der Fähigkeit, eine Vielzahl von Materialien aufzunehmen, ist es ein idealer Ätzer/Ascher für den täglichen Gebrauch.
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