Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293757625 zu verkaufen
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ID: 293757625
Etcher, 8"
APM
Bias
Operator interface: Bulk head
Indexer: Hine 38A
715-331131-002 Fixed gao middle chamber
716-330122-003 Plate top ceramic
853-032190-008 TCP Matcher
853-330951-021 Bias matcher
Wafer clamping : ESC (Notch)
RF Generator
Chamber manometer: 3Torr
ALCATEL ATH-1300M Turbo pump
Pressure controller
Main: Vat valve, 64 PM and PM5
MDVX-018 & AC-2 DSQ
DSQ Hinged
DSQ Matcher
Heated paddle
WVDS Manual fill
Chamber heater controller: 12 Loop external anafaze
Orbitally welded gas box: (8) Gases
Closed loop He Cooling: UPC8130 and Tylan CDL-12S13 (20 Torr)
Remote power module: Main 175A Remote
Power module
C/B Hardware
Load station:
Belt type shuttle
Standard edge
Detector
Load lifter.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist ein Ätzer oder Ascher, der für Hochgeschwindigkeitsprozesse entwickelt wurde und eine Art Nassbank-Technologie ist. Dieser Ätzer kann Prozesse wie Plasmaätzen und Aschen in einer einzigen Kammer durchführen, wobei die geätzten und aschten Materialien separat auf derselben Plattform geliefert werden. Der 9600 SE bietet eine Standardätzrate von 5 Mikron/min und eine Ascherate von bis zu 100 Mikron/min. Der Plasmaätzer verwendet einen niederfrequenten induktionsunterstützten Prozess und eine konstante Strömungsgeschwindigkeit, um die Gleichmäßigkeit der zu ätzenden oder zu aschenden Materialien zu gewährleisten. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche, integrierte Steuerung, die für die Steuerung des Plasmaerzeugungsprozesses verantwortlich ist. Der Regler ist mit einer Reihe von Sensoren verbunden, die Temperatur, Druck und andere Bedingungen zurückführen, um einen konsistenten Ätz- oder Aschevorgang zu gewährleisten. Die Steuerung kann auch einen automatisierten Betrieb des Plasmaprozesses vorsehen und die beim Ätzen oder Aschen verwendeten Parameter überwachen. LAM RESEARCH TCP 9600SE wurde entwickelt, um im Vergleich zu anderen nassbasierten Ätz- oder Aschesystemen einfach zu bedienen und zu warten. Das Gerät ist ergonomisch mit einer leicht einstellbaren Höhe gestaltet, die eine Vielzahl von Benutzerbedürfnissen erfüllen kann. Der 9600 SE verfügt zudem über eine intuitive Benutzeroberfläche zur Eingabe von Ätz- und Ascheparametern, die eine schnelle Einstellung der Einstellungen oder Bedienung ermöglicht. Der Ätzer oder Ascher ist mit einer Edelstahlkammer aufgebaut, die eine konsistente und zuverlässige Reinigung ermöglicht. Die Kammer wird mit variabler Leistung erwärmt, um eine konstante Ätz- oder Aschetemperatur zu erhalten. Eine Verlängerungsglocke ermöglicht die Zugabe von zusätzlichen Ätz- oder Aschekugeln, bei denen zusätzliches Material benötigt wird. TCP 9600 SE ist mit einer Multifunktionsabzugshaube ausgestattet, um gefährliche Dämpfe aus Ätz- oder Ascheprozessen zu erfassen. Die Haube ist so konzipiert, dass sie leicht einstellbar ist und eine Vielzahl von Luftstromkonfigurationen für eine Vielzahl von Gefahrstoffsammelanforderungen bietet. Insgesamt ist TCP 9600SE ein effektiver, auf Nassbänken basierender Ätzer oder Ascher, der für einen effizienten und kostengünstigen Betrieb entwickelt wurde. Das Gerät ist eine zuverlässige Wahl für diejenigen, die Hochgeschwindigkeitsprozesse benötigen und einen einfach zu bedienenden und zu wartenden Ätzer oder Ascher verwenden möchten.
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