Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293820921 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 293820921
Wafergröße: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der verwendet wird, um kritische Oberflächen- und Gerätebearbeitung zu ermöglichen. Diese fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung wurde entwickelt, um Präzisionsscheibenmuster mit minimalem Biokontaminationsrisiko und dem höchsten Niveau an Gesamtdurchsatz und Prozesskontrolle zu ermöglichen. LAM RESEARCH TCP 9600SE eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen wie RTP, Ätzen, Desoxidation, Diffusionsprozesse und Plasmaveraschung. TCP 9600 SE besteht aus einem einzigen Gehäuse mit vier unabhängig voneinander gesteuerten Kammern. Jede Kammer enthält eine Plasmaquelle, eine Abschirmungsvorrichtung, einen privaten Waferlift und ein atmosphärisches Spülbedienfeld. Das System verfügt auch über eine temperaturgesteuerte Luke, um eine staubhaltige Umgebung zu schaffen. Es ist in der Lage, bis zu zehn Wafer gleichzeitig zu verarbeiten und die Wafer können bis zu 200mm im Durchmesser dimensioniert werden. Das Gerät ist mit mehreren fortschrittlichen Ätz- und Ascheprozessen ausgestattet, die individuell auf die Bedürfnisse der einzelnen Anwendungen zugeschnitten werden können. Dazu gehört eine fortschrittliche Plasmakontrolltechnologie, die eine direkte Abscheidung auf empfindlichen Chipbereichen vermeidet und eine gleichmäßige Abscheiderate beibehält. lasergestütztes Ätzen und Aschen sowie fortschrittliche Kühlsysteme. Diese Technologien ermöglichen es der Maschine, hervorragende Präzisionsätz- und Ascheergebnisse zu liefern und gleichzeitig die Temperatur zu kontrollieren. Das Tool bietet auch fortschrittliche Algorithmen, die den Waferschutz vor Kontaminationsproblemen, die Optimierung von Ätz- und Ascherezepten sowie die Überwachung von Endpunkten und die Qualität der Prozessergebnisse ermöglichen. Die Rezepturentwicklung ist für maximale Prozessreproduzierbarkeit und Qualität optimiert. Insgesamt ist TCP 9600SE ein leistungsfähiges Ätz- und Aschegut, das hervorragende Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen liefern kann. Seine fortschrittlichen Funktionen wie Plasmasteuerung, lasergestütztes Ätzen und fortschrittliche Kühlsysteme ermöglichen dem Modell Präzision und Qualitätsätz- und Ascheergebnisse. Die Ausrüstung wurde so konzipiert, dass sie einfach zu bedienen und zu warten ist und die besten Verarbeitungsergebnisse liefert.
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