Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095942 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist eine Hochleistungs-Ionenätz- (RIE) und Aschermaschine, die eine enge dimensionale Kontrolle und Prozessgleichförmigkeit ermöglicht. Dieses System verfügt über eine volumenstarke, integrierte Prozesskammer und eine automatisierte Ladeschleuse, die es zu einer kostengünstigen Lösung für die Serienproduktion macht. LAM RESEARCH TCP 9600SE verfügt auch über fortschrittliche Prozesssteuerung, mehrere Prozessrezepte und automatisierte Subsysteme, die es zu einem zuverlässigen Partner für Anwendungen in der Hochvolumenherstellung machen. TCP 9600 SE verfügt über eine fortschrittliche Prozesskammer, die für hohe Ätzraten und überlegene Prozessgleichförmigkeit konzipiert ist und gleichzeitig eine breite Palette an verfügbaren Ätz- und Aschechemikalien bietet. Die geräumige Kammer ermöglicht zudem einen höheren Prozessdurchsatz und geringere Kosten. Dieses Gerät verfügt auch über eine voll integrierte Ladeblockiermaschine, die eine schnelle Probenbeladung ermöglicht. Zum TCP- 9600SE gehört auch ein Hochgeschwindigkeits-automatisierter Waferträger und ein Handhabungswerkzeug, das während des gesamten Ätz- und Ascheprozesses einen überlegenen Waferschutz gewährleistet. LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist mit einer fortschrittlichen Prozesskontrolle ausgestattet, die eine präzise Rezeptsteuerung für optimale Prozessgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Dieses Modell bietet mehrere Prozessrezepte, die es dem Benutzer ermöglichen, den Ätz- und Ascheprozess für seine spezifische Anwendung anzupassen. Die Prozesskontrollausrüstung von LAM RESEARCH TCP 9600SE berücksichtigt auch die Flachheit des Wafers, um die Ätzgleichförmigkeit zu maximieren. TCP 9600 SE verfügt über eine Vielzahl von In-situ-Überwachungs- und Messtechnik, einschließlich optischer Ausrichtung und spektroskopischer Emissionsmessungen. Dieses System verfügt auch über einen Touchscreen und eine grafische Benutzeroberfläche, mit der der Benutzer die Prozessparameter überwachen und anpassen kann. TCP 9600SE ist so konzipiert, dass es mit den meisten verfügbaren Ätz- und Aschechemikalien kompatibel ist, und verfügt über ein komplettes Zubehör, einschließlich einer Lade- und Wafer-Handhabungskomponente für eine schnelle und wiederholbare Probenbeladung. Insgesamt ist LAM RESEARCH TCP 9600 SE eine fortschrittliche Ätz- und Ascheeinheit, die einen hohen Prozessdurchsatz, eine enge Dimensionssteuerung und eine überlegene Prozesssteuerung und Gleichmäßigkeit bietet. Seine vollautomatisierte Ladeblockmaschine, mehrere Prozessrezepte und In-situ-Messtechnik-Funktionen machen ihn zu einem zuverlässigen Partner für industrielle Anwendungen mit hohem Volumen.