Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095946 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascher-Prozesskammer, die entwickelt wurde, um die speziellen Ätz-, Reinigungs- und Passivierungsprozesse zu unterstützen, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. LAM RESEARCH TCP 9600SE bietet eine präzise, zuverlässige Prozesssteuerung auf Waferebene und ist mit der neuesten Halbleiter-Prozesskammertechnologie ausgestattet, einschließlich fortschrittlicher Prozesssteuerungsalgorithmen, einem integrierten HF-Generator und fortschrittlicher Software. TCP 9600 SE wurde speziell für das Ätzen, Reinigen und Passivieren von Halbleiterbauelementoberflächen entwickelt. Die Kammer ist mit Temperatur- und Drucksteuerung, einem Sauerstoffmonitor, In-situ-Kammerreinigung, einer automatisierten Flüssigkeitsfiltration und fortschrittlicher HF-Generator-Technologie für präzises Plasmaätzen und -aktivierung ausgestattet. Die Prozesskammer bietet auch fortschrittliches Materialverschmutzungsmanagement mit fortschrittlichen digitalen Werkzeugen wie Fehlerisolierungstechniken, Rückverfolgbarkeit und digitaler Mischer/Aktorsteuerung. TCP 9600SE Geräte bieten eine fortschrittliche Prozesssteuerung und können konfiguriert werden, um eine Vielzahl von Spezialprozessen zu unterstützen, einschließlich Filmabscheidung, über Etch, niedrige K-Ätzung, Niedertemperatur-Nassätzung, Dunkelraumsumpf-Etch, Heap-Typ-Diffusion und Zykluszeit über Etch optimiert. Das System verfügt außerdem über einen integrierten HF-Generator, der eine präzise Abstimmung der Leistungs- und Plasmaparameter ermöglicht, um die Produktqualität zu gewährleisten. LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist in der Lage, bis zu 300mm Wafer zu verarbeiten, und ist mit zwei Quarz-Prozesskammern, einem HF-Generator, einer automatisierten Flüssigkeitsfiltereinheit und einer Prozessanzeigemaschine ausgestattet. Das Werkzeug bietet volle Sicherheitsvorkehrungen, einschließlich eines Notstopps und einer E-Stop-Taste, um Prozesse zu beenden und Maschinenschäden zu verhindern. Die Prozesskammer ist auch mit einem erweiterten Softwarepaket ausgestattet, das es einem Benutzer ermöglicht, die Vermögensleistung zu überwachen und Prozessrezepte auf anpassbare Weise zu optimieren. Die Software bietet auch umfassende Modellberichte, einschließlich Rezeptinformationen, Elementtemperaturen, Oxidationsmittelniveaus, Druck, HF-Leistungsniveau und andere Prozesseigenschaften. LAM RESEARCH TCP 9600SE Ätzer/Ascher ist für fortgeschrittene Anwendungen zum Ätzen, Reinigen und Passivieren von Halbleiterbauelementen konzipiert. Die fortschrittlichen Prozesssteuerungsalgorithmen, der integrierte HF-Generator und die digitale Software ermöglichen eine präzise und zuverlässige Prozesssteuerung auf Waferebene und machen es zu einem wichtigen industriellen Werkzeug für die Halbleiterindustrie.