Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095947 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9095947
Wafergröße: 8"
Al etcher, 8".
LAM RESEARCH TCP 9600 SE etcher/asher ist ein leistungsstarkes, automatisiertes Prozesswerkzeug für Halbleiteranwendungen beim Ätzen und Aschen. Es wird verwendet, um überlegene Ergebnisse in Metallätzen, anisotropen Silikatätzen (ASE), fortgeschrittenen über Bildung und dielektrischen Ascheverfahren zu erzielen. LAM RESEARCH TCP 9600SE ist mit einem exklusiven visuellen Fernüberwachungssystem ausgestattet, mit dem Benutzer Prozessergebnisse von einem entfernten Standort aus überwachen und bewerten können. Seine fortschrittliche physikalische Dampfabscheidungsquelle (PVD) ermöglicht eine bessere Filmgleichförmigkeit und eine bessere Prozesskontrolle. TCP 9600 SE enthält eine hydrodynamische Platte, die schnellere und genauere Ergebnisse sowie einen erhöhten Prozessdurchsatz ermöglicht. Ergänzt wird dies durch ein integriertes Drei-Zonen-Trennsystem; ein Hochdruck, niedrige Temperatur, hat Polymertablett unter Druck gesetzt; und ein beheiztes Ätzmodul, das es Benutzern ermöglicht, höhere Ätzraten zu erreichen. Darüber hinaus verfügt TCP 9600SE über eine Vielzahl interner Werkzeuge und Funktionen, wie einen multifunktionalen Ventilblock und ein integriertes Vakuumsystem, einen Wafer-Tracker und einen HF-Generator. All diese Funktionen machen LAM RESEARCH TCP 9600 SE zu einem der leistungsstärksten und zuverlässigsten Ätz-/Aschersysteme auf dem Markt.
Es liegen noch keine Bewertungen vor