Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9153019 zu verkaufen
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ID: 9153019
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Etcher, 8"
SMIF Indexer
Auto loader
Auto fill WVDS & hinged DQS
SEIKO SEIKI STP-H1000L Turbo molecular pump
1996 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE Ätzer/Ascher ist ein leistungsfähiges, kostengünstiges und zuverlässiges Werkzeug zum Ätzen/Aschen von Halbleitermaterialien. Diese Maschine ist in der Lage, innerhalb der planaren und vertikalen Ätzbereiche entweder Gleichstrom (DC) oder Hochfrequenz (HF) -basierte Quellen zu ätzen/zu aschen. Die Prozesskammer des Ätzers ist aus Edelstahl gefertigt und bietet eine stabile und sichere Umgebung für die Verarbeitung von empfindlichen und stark strukturierten Halbleiterscheiben. Der 9600 SE ist mit einem leistungsstarken programmierbaren Motor und einer Lüftersteuerung ausgestattet, die eine präzise und genaue Kontrolle der Prozessbedingungen während des Ätz-/Aschevorgangs ermöglicht. Das Gerät verwendet eine fortschrittliche Gas-/Vakuumquelle, um ein gleichmäßiges und konsistentes Ätz-/Ascheprofil über die gesamte Waferoberfläche zu liefern. Unterschiedliche Gasströmungen und -drücke können so konfiguriert werden, dass sie einem breiten Spektrum von Ätzbedürfnissen entsprechen und ein hohes Maß an Kontrolle ermöglichen. Darüber hinaus ist der Ätzer mit verschiedenen Elektroden ausgestattet, so dass je nach geätztem Material unterschiedliche kinetische Energien aufgebracht werden können, so dass die Maschine ein gleichbleibend hohes Leistungsniveau erreichen kann. Die Präzisionsveraschung des 9600 SE ermöglicht eine extrem genaue Auswertung der Funktionen mit hohem Seitenverhältnis. Die fortschrittliche Prozesskammer des Systems wurde entwickelt, um Oberflächenschäden zu minimieren und den Ätz-/Ascheprozess zu optimieren. Darüber hinaus verfügt der Ätzer über eine fortschrittliche automatisierte Wafer-Transfereinheit, die ein schnelles Wafer-Handling mit minimaler Wartezeit ermöglicht. Die Programmierfunktionen des 9600 SE bieten dem Benutzer volle Kontrolle über den Ätz-/Ascheprozess. Automatisierte Prozesse ermöglichen einen hohen Durchsatz ohne Qualitätseinbußen. Die Maschine ist mit Top-of-the-Line-Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die verschiedene Überwachungssysteme wie Wärmebild- und Luftstromanalyse beinhalten, um sicherzustellen, dass der Bediener mögliche Probleme kennt, bevor sie kritisch werden. Darüber hinaus verwendet das Tool intelligente Datenerfassungs- und Speichersoftware, mit der Benutzer die Prozessparameter einfach überwachen und steuern können. LAM RESEARCH TCP 9600SE Ätzer/Ascher ist eine äußerst vielseitige, zuverlässige und kostengünstige Ätz-/Aschelösung, ideal für Hochleistungs-Anwendungen mit hohem Durchsatz. Mit seinen ausgeklügelten Programmierfunktionen, erweiterten Prozessfähigkeiten und umfassenden Sicherheitsfunktionen ist der 9600 SE eine ausgezeichnete Wahl für Ätz-/Ascheanwendungen.
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