Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9153545 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9153545
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1993
Etcher, 8" 1993 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher. Es ist für den Einsatz in den Plasmaätz- und nasschemischen Ätz-/Ascheprozessen konzipiert. Diese Maschine eignet sich gut für fortgeschrittene Prozessanwendungen wie kritische Folien, Hartmaskenreste und Spezialfolien. Es verfügt über eine modulare, einheitliche, gasdichte Kammer, die es ermöglicht, RIE, ICP und Plasmaätzungen sowie nasse chemische Ätzungen und Ascherei durchzuführen. Diese Maschine ist mit einer breiten Palette von Werkzeugen ausgestattet, einschließlich Laminar-Flow, Hochleistungs-Vakuumpumpen, einem Hochfrequenz-HF-Generator und einem hochauflösenden Ätzsteuerungssystem. Diese ermöglichen es, eine Vielzahl verschiedener Ätzprozesse mit überlegener Konsistenz, Genauigkeit und Wiederholbarkeit durchzuführen. Seine Drucksteuerung ermöglicht auch eine hochpräzise Prozesssteuerung. LAM RESEARCH TCP 9600SE verfügt auch über eine Reihe von automatisierten Rezeptoptionen, so dass der Benutzer die Batch-Verarbeitung schnell einrichten und ausführen kann, ohne dass eine Programmierung erforderlich ist. Darüber hinaus ist es mit einer Reihe von automatischen Überwachungs- und Steuerungssystemen ausgestattet, einschließlich eines Prozessendpunktdetektors und automatischer Anpassungen von Prozessparametern. TCP 9600 SE verfügt auch über branchenführende Sicherheitsfunktionen. Dazu gehören eine Bedienerschnittstelle, die den Zugriff auf bestimmte Bereiche der Maschine einschränkt, eine automatisierte Abschaltung bei kritischer Funktionstemperatur, Gasdruck oder einem anderen Prozessparameter sowie ein integriertes Dualneustartsystem. Darüber hinaus kommt es mit einem robusten Wartungsprogramm des Herstellers, einschließlich regelmäßiger präventiver Wartung, erweiterter Garantien und Service und Support nach dem Verkauf. Dies ermöglicht dem Kunden, dass seine Investition für Jahre gut versorgt wird. TCP 9600SE ist eine ausgezeichnete Wahl für jedes Labor, das Ätz-/Ascheprozesse durchführt. Seine Kombination aus technologischer Exzellenz, intelligenten Betriebsmerkmalen und Kundendienst und Support machen es zu einer idealen Wahl für jede Einrichtung.
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