Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9169594 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9169594
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1993
Etcher, 8" APM Function RF Matcher 1993 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine für Forschung und industrielle Anwendungen. Dieses System ist global konditioniert und beinhaltet eine Stickstoff-Recycling-Wiege für optimale Leistung. LAM RESEARCH TCP 9600SE ist eine Einzelwafer-Ätz- und Ascheeinheit mit einem Prozessbereich von bis zu 12 Gasen und linearen Geschwindigkeiten von 0,25 nm/min bis 1,0 nm/min. Es bietet volle Temperaturregelung von -20 ° C bis + 20 ° C, was für die Flexibilität sorgt, die für die Forschung und Entwicklung neuer Prozesse erforderlich ist. TCP 9600 SE verfügt über eine patentierte lineare Geschwindigkeitsprofil (LVP) -Steuerung, die überlegene Prozessgleichförmigkeit bei minimaler Wafer-Verzerrung bietet. Für eine einfache Bedienung verfügt TCP 9600SE über eine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche mit mehreren Sprachoptionen. Es bietet grafische Darstellungen von Rezepten und kritischen Parametern, wodurch die Bedienung und Überprüfung von Rezepten schnell und effizient. Darüber hinaus kann LAM RESEARCH TCP 9600 SE verwendet werden, um mehrere Prozessparameter vor Beginn eines Laufs zu simulieren, wodurch Rätselraten eliminiert und die Zeit bis zum Abschluss verkürzt wird. LAM RESEARCH TCP 9600SE etcher/asher bietet darüber hinaus zusätzliche Flexibilität in Form von hochgradig kundenspezifischen Templates. Dies ermöglicht es Benutzern, eine breite Palette von Skripten zur Verfügung zu haben, um die Bedienung der Maschine zu automatisieren und zu vereinfachen. Sicherheitstechnisch kommt TCP 9600 SE mit aktiven Plasmaschlössern, die das Plasma automatisch abschalten, wenn die Prozessparameter überschritten werden oder eine Anomalie festgestellt wird. Dies ist entscheidend, um Forscher vor gefährlichen Emissionen zu schützen. Das Werkzeug ist außerdem mit einem ESD-Gerät (Emergency Shutdown) ausgestattet, mit dem die Maschine im Notfall heruntergefahren werden kann. Alles in allem ist TCP 9600SE ein fortschrittliches Ätz-/Aschermodell, das sich perfekt für Forschung und industrielle Anwendungen eignet. Die benutzerfreundliche Oberfläche und die sehr anpassbaren Vorlagen machen es einfach zu bedienen, während die erweiterten Sicherheitsfunktionen dem Benutzer maximalen Schutz bieten.
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