Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9172338 zu verkaufen

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ID: 9172338
Weinlese: 1994
Etcher With rainbow endpoint detection Water cooled platen Standard recipe 600/601 for Al etching: Etch rate: 800 nm/min Photoresist etch rate: 400 nm/min Standard recipe 640 for Al2O3 etching: Etch rate: 100-120 nm/min Substrate size: 150 mm Diameter Allowed materials: Al, Al2O3, TiO2, Poly Si, Nb Forbidden materials: Non IC-compatible materials Gases: Cl2, BCl3, HBr, SF6, CF4, Ar, N2, O2, He Pressure: 0-100 mTorr Process temperature: 55°C Electrode power: Top: 0-1250 W Lower: 0-1200 W 1994 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist ein hochzuverlässiger, hochproduktiver Ätzer oder Ascher für den Einsatz in der Halbleiterherstellung und verwandten Industrien. Es ist für chemische Aufdampfverfahren (CVD) ausgelegt, bei denen dünne Filme oder Schichten auf der Oberfläche eines Substrats oder Halbleiterwafers abgeschieden werden. LAM RESEARCH TCP 9600SE bietet eine Reihe von Funktionen zur Verbesserung der Gesamtätzrate, Gleichmäßigkeit und chemischen Zusammensetzung des abgeschiedenen Films. Das Hochleistungsdesign des TCP 9600 SE wird von einem DirectDrive Linearmotor angetrieben, der die Ätzgleichmäßigkeit bei geringem Drift verbessert und zudem deutlich leiser ist als herkömmliche gebürstete Motorentwürfe. Es verfügt auch über eine fortschrittliche Wärmesteuerungsausrüstung und eine Vielzahl integrierter und programmierbarer Optionen, einschließlich digitaler Mustererkennung (DPR), Temperaturabtastung, Energieabtastung und Leistungsmessung. Das fortschrittliche elektrostatische Spannfutter (ESC) des Systems sorgt für eine ausgezeichnete Substrathaftung und eine gleichmäßige Erwärmung während des gesamten Prozesses. Der Ätzer kann auf eine breite Palette von Substratgrößen eingestellt werden, von 200mm und 300mm bis zu 8-Zoll, 10-Zoll und 12-Zoll-Wafern. Es verfügt über einen integrierten Wafer-Handler, einstellbare Heizblöcke und Gasströmungssysteme. Die motorisch angetriebene Subuniform-Kammer des Geräts soll die Partikelverschmutzung reduzieren und eine optimale gleichmäßige Ätzrate erhalten. TCP 9600SE ist eine zuverlässige und benutzerfreundliche Maschine. Die intuitive Benutzeroberfläche vereinfacht die Bedienung von CVD-Prozessen und reduziert Ausfallzeiten. Darüber hinaus ermöglichen die Fernüberwachung, Datenprotokollierung und Diagnosefunktionen des Tools es Benutzern, ihre Prozessergebnisse zu überwachen und ggf. Anpassungen von einem entfernten Standort aus vorzunehmen. LAM RESEARCH TCP 9600 SE eignet sich aufgrund seines leistungsstarken Designs, der integrierten Diagnose- und Datenerfassungsfunktionen sowie der Benutzerfreundlichkeit ideal für anspruchsvolle Halbleiterätz- und Abscheidungsprozesse. Seine robuste Bauweise sorgt für zuverlässigen Betrieb und maximale Produktivität.
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