Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9197777 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist ein hochmoderner Ätzer und Ascher, der eine effiziente, zuverlässige Ätz- und Ascheleistung bietet. Die Ausrüstung ist mit einem stark wiederholbaren, automatisierten Prozess konzipiert, der schnelle und genaue Ergebnisse sowie einfach zu bedienende Kontrollen bietet. LAM RESEARCH TCP 9600SE wurde entwickelt, um die Anforderungen an hohe Volumendurchsätze in den anspruchsvollsten Produktions- und Forschungsumgebungen zu erfüllen. Das System verfügt über einen automatisierten Kassetten-Kassetten-Prozess und ein effizientes Lasthandling, das eine schnelle und konsistente Produktion ermöglicht. TCP 9600 SE hat eine hohe Durchsatzkapazität und ermöglicht bis zu 8 Substrate pro Kassette mit einer maximalen Kassettenkapazität von 96 Substraten. Die geringe Kreuzkontamination und die geringe Substratabscheidungsrate der Einheit bieten einen stark wiederholbaren und stabilen Ätz- und Ascheprozess. TCP 9600SE ist mit einer in sich geschlossenen Prozesskammer ausgestattet, die einen einfachen Austausch und eine kontinuierliche Reinigung ermöglicht. Die Prozesskammer ist in einen einstufigen Backprozess integriert, der Ausfallzeiten minimiert und maximale Betriebszeit und maximalen Durchsatz ermöglicht. Die Maschine verfügt über eine erweiterte Diagnosefunktion, die eine Echtzeitüberwachung des Prozesses ermöglicht. Die Präzision des Werkzeugs ist unübertroffen und bietet Wiederholbarkeit und Genauigkeit von innerhalb von 3% bei allen Schritten des Ätz- und Ascheprozesses. Das integrierte Verfahren schützt vor unerwünschtem Ätzen und bietet ein extrem ebenes Profil mit geringer Substratabscheidung. LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen und zu aschen, einschließlich ArF, IBE und Tiefätzen von Wafern mit unterschiedlichem Widerstand. Insgesamt bietet LAM RESEARCH TCP 9600SE hervorragende Ätz- und Ascheleistungen in einer hocheffizienten und kontrollierten Umgebung. Mit einer anpassbaren Plattform und einem stabilen Prozess wurde TCP 9600 SE entwickelt, um höchste Produktivitäts-, Durchsatz- und Genauigkeitsstandards in jeder Forschungs- oder Produktionsumgebung zu erfüllen.