Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9205199 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9205199
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Etcher, 8"
Chiller: 650 x 550 x 1120
Dry pumps: 650 x 1280 x 1300
Remote power module: 700 x 640 x 1850
On-board AC Dist
Type: Circuit breaker
(2) On-Board RF generators:
Onboard: SML-1250PBC (Sunsay)
Onboard: SML-1000DSQ (Sunsay)
Main process module (PM1): 9600
Wafer clamp
Electrode gap: Fixed gap
TCP Coil: 8”
Turbo pump: BOC EDWARDS
Turbo control: BOC EDWARDS (STP1000L)
Gate valve: VAT 64 (Heated)
Heat exchanger / Chiller: TAITEC CH-800B
Gas line Gas
1 BC13
2 C12
3 N2
4 SF6
5 Ar
6 O2
7 CF4
8 O2
Dry pumps:
EBARA A70W-N
EBARA A80W
EBARA AA40W
EBARA A70W
1995 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist ein hochmoderner Ätzer und Ascher für Halbleiterproduktionsanwendungen. Dieses Produkt verfügt über ein effizientes, integriertes Design, das es von anderen Ätz- und Ascheprozessen unterscheidet. LAM RESEARCH TCP 9600SE verwendet Hochleistungs-Hochfrequenz-HF-Plasma, um unerwünschtes Material auf der Oberfläche von Halbleiterscheiben schnell zu ätzen und zu aschen. Das Gerät nutzt eine fortschrittliche Plasmaquelle, Präzisionselektrodendesign und Mehrkammerbetrieb, um wiederholbare und zuverlässige Leistung zu bieten, auch in anspruchsvollen Anwendungen. TCP 9600 SE hat eine maximale Asche-/Ätzrate von bis zu 60 Wafern pro Stunde. Durch die schnelle Zykluszeit und den hohen Durchsatz kann TCP 9600SE die höchsten Erträge in der Halbleiterproduktion erzielen. Die modulare Systemkonfiguration ermöglicht die flexible Integration zusätzlicher Komponenten und Geräte, so dass Benutzer das Gerät an ihre spezifischen Produktionsanforderungen anpassen können. LAM RESEARCH TCP 9600 SE bietet Anwendern eine breite Palette von Prozessparametern, um konsistente Ergebnisse zu erzielen. Auf diese Weise können sich die Hersteller auf eine sehr wiederholbare und zuverlässige Produktion hochwertiger Wafer freuen. Benutzer können das Gerät so konfigurieren, dass es in verschiedenen Tiefen und mit unterschiedlichen Ätzraten geätzt und geascht wird, sodass sie ihren Prozess individuell auf den jeweiligen Wafer und die jeweilige Schicht anpassen können. All diese Funktionen werden durch eine kompakte Bauweise untermauert, die ein hohes Raum-Leistungs-Verhältnis ermöglicht. LAM RESEARCH TCP 9600SE ist die perfekte Wahl für die meisten raumkritischen Anwendungen. Es ist auch sicher zu bedienen, dank seiner Niederdruck-Plasmaquelle und eingebauten Strahlenschutzfunktion. Dies reduziert die Wartungszeit und erhöht die Sicherheit für die Arbeitnehmer. TCP 9600 SE besticht durch seine fortschrittlichen Funktionen, beeindruckende Ätz- und Ascherleistung sowie schnelle Zykluszeiten, um die Erträge zu maximieren. Mit seinen präzisen, wiederholbaren und äußerst zuverlässigen Ergebnissen ist LAM RESEARCH Ätzer und Ascher eine perfekte Wahl für komplexe Halbleiterproduktionsanwendungen.
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