Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9211769 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist eine fortschrittliche Plasma-basierte Ascher/Ätzer-Ausrüstung, die für die Abscheidung von Polymeren und anderen dünnen Folien für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. LAM RESEARCH TCP 9600SE ist in der Lage, High-End-Ätzen, Ätzratenmessungen und thermischen Reflow dünner transferierter Filme auf Wafern durchzuführen. Die Kerntechnologie des Systems ist das „Reactive Ion Etching“ (RIE), das die physikalischen Effekte des Ionenbeschusses mit den chemischen Effekten des Gasphasenenergietransfers kombiniert, um hochanisotrope Ätzprofile zu erzeugen. Darüber hinaus enthält die Einheit ein ULTRAWATER-Modul, um hochreines, entionisiertes Prozesswasser zuverlässig und wiederholbar bereitzustellen. TCP 9600 SE nutzt die neuesten Technologien, um ein genaues Ätzen von Strukturen und Materialien zu ermöglichen. Es ist mit einer hochpräzisen Prozesskammer mit programmierbaren Abtastvektoren zur überlegenen Prozesssteuerung ausgestattet. Die Maschine verfügt auch über eine Hochgeschwindigkeits-Plasmaquelle für schnelle Ätzzyklen, ein dampffreies Lieferwerkzeug für sauberes Ätzen und eine spezialisierte Gaszufuhranlage, die Ätzgase von Benutzer und Umgebung isoliert. Um einen sicheren und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten, umfasst das Modell mehrere Sicherheitsmerkmale wie automatisierte Druckregulierung, Luft/Gas-Leckageerkennung, Spülgaskontrolle sowie Brand- und Gasdetektions-/-unterdrückungssysteme. TCP 9600SE ist Teil der nächsten Generation von LAM RESEARCH Asher/Etcher Equipment und bietet überlegene Leistung und Zuverlässigkeit. Das System bietet Anwendern eine Reihe von Vorteilen wie eine bessere Prozesssteuerung, überlegene Einheitlichkeit und einen größeren Durchsatz. Die Einheit ist ideal für Wafer-Level-Verpackungsanwendungen und andere fortschrittliche IC-Verarbeitungsanwendungen.