Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9226415 zu verkaufen

ID: 9226415
Wafergröße: 8"
Metal etcher, 8" Gas box MFC Temperature controller Process kit: EPD Sensor Chuck type: Mechanical (12) Board checkers MKS: 13.32 PA P/C ESC VAT Valve SBC Board type: BOSS Video board type: Floppy disk VME Type: Hard disk controller slot WPS Sensor Slit valve: Mini controller Robot type: Cassette handler STO Elevator type: I/O Wafer sensor EPD Exhaust line RF Match: L/L Purge, L/L slow vent RF Generator type: P/C Metal etcher (8) Motor drivers CPU TAITEC CH-800B H/E Chiller Dry pump Gauge type: TC XLL Wafer sensor Monitor Gas panel TCP Top & bottom generator: ADVANCED ENERGY RFG 1250 Bias Chamber A: O2: 200 SCCM CF4: 100 SCCM O2: 2000 SCCM H2O: 500 SCCM CHF3: 20 SCCM N2: 50 SCCM CL2: 200 SCCM BCL3: 200 SCCM Turbo pump: EDWARD SCU H1000C EDWARD STP-1000 Standalone Autoloader type STP H1000 with TMP Bottom match Wafer shape: Flte No SMIF interface MF Facilities APM Chamber ELL Arm Load port GEM & SESC Interface Cassette stage XLL Arm RF Generator Chamber type: 9600 Chamber process: Metal Manometer: 0.1 mT Millipore Standard cooling water Top & bottom RF match Gate valve & Throttle valve: Pendulum valve STP H-1000L Turbo controller Standard 4-pin cylinder EPD Controller: 703/261.8 Chamber gases: Gases / MFC Size / Gas name / MFC Maker / MFC Model number Gas 1 / 300 / N2 / AERA / FC-780C Gas 2 / 200 / N2 / AERA / FC-780C Gas 3 / 50 / N2 / AERA / FC-780C Gas 6 / 3000 / N2 / AERA / FC-780C Gas 7 / 200 / N2 / AERA / FC-780C Gas 8 / 200 / N2 / AERA / FC-780C Missing parts: VDS Side covers DSQ Chamber APM Chuck motor DI Nozzle WVDS Includes: AC Rack Cable Signal cable box Power: 208V 1996 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche Waferätz- und Ascheausrüstung, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Es bietet eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen, von UV-Ätzen bis zu alkalischen Ätzen, so dass Benutzer eine breite Palette von Halbleiterbauelementen herstellen können. Das System ist äußerst benutzerfreundlich und bietet intuitive Benutzeroberflächen und schnelle Kontrollen für die Prozesseinrichtung. LAM RESEARCH TCP 9600SE verwendet ein dreidimensionales elektrostatisches Spannfutter (ESC), um eine gleichmäßige Verteilung des Ätzgases und eine gleichmäßige Ätzgleichförmigkeit über die Waferoberfläche zu erreichen. Dies führt zu einem hochpräzisen Ätzen und Aschen, so dass Produkte mit möglichst hoher Qualität und Ausbeute hergestellt werden. Die im elektrostatischen Spannfutter verwendeten hochauflösenden Stifte tragen dazu bei, die gleichmäßige Verteilung des Ätzgases und die kontrollierte Temperatur des Substrats zu gewährleisten, die zum präzisen Ätzen und Aschen erforderlich ist. TCP 9600 SE verfügt über einen integrierten Controller, der die Prozesseinrichtung vereinfacht und es Anwendern ermöglicht, schnell geeignete Parameter wie Ätzrate, Substrat, Ätzdruck und Ätzgaszusammensetzung auszuwählen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über Hochgeschwindigkeitsmotoren, die es Anwendern ermöglichen, eine überlegene Ätzgleichmäßigkeit zu erzielen und gleichzeitig die Prozesszeit zu reduzieren. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine automatische Reinigungsfunktion, die den Wafer während des Prozesses automatisch reinigt und Partikel und andere Verunreinigungen aus dem Produkt entfernt. Zusätzlich zu seinen effizienten Ätz- und Veraschungsfunktionen bietet TCP 9600SE eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, z. B. einen modularen Aufbau, mit dem Benutzer ihre Prozesseinrichtung an ihre eigenen Anforderungen anpassen können. Darüber hinaus tragen die verbesserten Wärmemanagementfunktionen dazu bei, dass die Substrattemperaturen während des gesamten Prozesses sorgfältig überwacht werden und sich in sicheren Grenzen halten. Insgesamt ist LAM RESEARCH TCP 9600 SE ein fortschrittliches Ätz- und Aschewerkzeug, das eine intuitive Benutzeroberfläche, hochpräzises Ätzen und ein verbessertes Thermomanagement bietet. Der modulare Aufbau und die verbesserte Automatisierung des Asset ermöglichen es Anwendern, den Prozess einfach an ihre eigenen Anforderungen anzupassen, während seine schnelle Geschwindigkeit und automatische Reinigungsfunktionen dazu beitragen, dass die höchstmögliche Produktqualität erreicht wird.
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