Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9226415 zu verkaufen
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ID: 9226415
Wafergröße: 8"
Metal etcher, 8"
Gas box MFC
Temperature controller
Process kit: EPD Sensor
Chuck type: Mechanical
(12) Board checkers
MKS: 13.32 PA
P/C ESC
VAT Valve
SBC Board type: BOSS
Video board type: Floppy disk
VME Type: Hard disk controller slot
WPS Sensor
Slit valve: Mini controller
Robot type: Cassette handler
STO Elevator type: I/O Wafer sensor
EPD Exhaust line
RF Match: L/L Purge, L/L slow vent
RF Generator type: P/C Metal etcher
(8) Motor drivers
CPU
TAITEC CH-800B H/E Chiller
Dry pump
Gauge type: TC XLL Wafer sensor
Monitor
Gas panel
TCP
Top & bottom generator: ADVANCED ENERGY RFG 1250 Bias
Chamber A:
O2: 200 SCCM
CF4: 100 SCCM
O2: 2000 SCCM
H2O: 500 SCCM
CHF3: 20 SCCM
N2: 50 SCCM
CL2: 200 SCCM
BCL3: 200 SCCM
Turbo pump:
EDWARD SCU H1000C
EDWARD STP-1000
Standalone
Autoloader type
STP H1000 with TMP
Bottom match
Wafer shape: Flte
No SMIF interface
MF Facilities
APM Chamber
ELL Arm
Load port
GEM & SESC Interface
Cassette stage
XLL Arm
RF Generator
Chamber type: 9600
Chamber process: Metal
Manometer: 0.1 mT Millipore
Standard cooling water
Top & bottom RF match
Gate valve & Throttle valve: Pendulum valve
STP H-1000L Turbo controller
Standard 4-pin cylinder
EPD Controller: 703/261.8
Chamber gases:
Gases / MFC Size / Gas name / MFC Maker / MFC Model number
Gas 1 / 300 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 2 / 200 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 3 / 50 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 6 / 3000 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 7 / 200 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 8 / 200 / N2 / AERA / FC-780C
Missing parts:
VDS
Side covers
DSQ Chamber
APM Chuck motor
DI Nozzle
WVDS
Includes:
AC Rack
Cable
Signal cable box
Power: 208V
1996 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche Waferätz- und Ascheausrüstung, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Es bietet eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen, von UV-Ätzen bis zu alkalischen Ätzen, so dass Benutzer eine breite Palette von Halbleiterbauelementen herstellen können. Das System ist äußerst benutzerfreundlich und bietet intuitive Benutzeroberflächen und schnelle Kontrollen für die Prozesseinrichtung. LAM RESEARCH TCP 9600SE verwendet ein dreidimensionales elektrostatisches Spannfutter (ESC), um eine gleichmäßige Verteilung des Ätzgases und eine gleichmäßige Ätzgleichförmigkeit über die Waferoberfläche zu erreichen. Dies führt zu einem hochpräzisen Ätzen und Aschen, so dass Produkte mit möglichst hoher Qualität und Ausbeute hergestellt werden. Die im elektrostatischen Spannfutter verwendeten hochauflösenden Stifte tragen dazu bei, die gleichmäßige Verteilung des Ätzgases und die kontrollierte Temperatur des Substrats zu gewährleisten, die zum präzisen Ätzen und Aschen erforderlich ist. TCP 9600 SE verfügt über einen integrierten Controller, der die Prozesseinrichtung vereinfacht und es Anwendern ermöglicht, schnell geeignete Parameter wie Ätzrate, Substrat, Ätzdruck und Ätzgaszusammensetzung auszuwählen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über Hochgeschwindigkeitsmotoren, die es Anwendern ermöglichen, eine überlegene Ätzgleichmäßigkeit zu erzielen und gleichzeitig die Prozesszeit zu reduzieren. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine automatische Reinigungsfunktion, die den Wafer während des Prozesses automatisch reinigt und Partikel und andere Verunreinigungen aus dem Produkt entfernt. Zusätzlich zu seinen effizienten Ätz- und Veraschungsfunktionen bietet TCP 9600SE eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, z. B. einen modularen Aufbau, mit dem Benutzer ihre Prozesseinrichtung an ihre eigenen Anforderungen anpassen können. Darüber hinaus tragen die verbesserten Wärmemanagementfunktionen dazu bei, dass die Substrattemperaturen während des gesamten Prozesses sorgfältig überwacht werden und sich in sicheren Grenzen halten. Insgesamt ist LAM RESEARCH TCP 9600 SE ein fortschrittliches Ätz- und Aschewerkzeug, das eine intuitive Benutzeroberfläche, hochpräzises Ätzen und ein verbessertes Thermomanagement bietet. Der modulare Aufbau und die verbesserte Automatisierung des Asset ermöglichen es Anwendern, den Prozess einfach an ihre eigenen Anforderungen anzupassen, während seine schnelle Geschwindigkeit und automatische Reinigungsfunktionen dazu beitragen, dass die höchstmögliche Produktqualität erreicht wird.
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