Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228025 zu verkaufen

ID: 9228025
Wafergröße: 8"
Etchers, 8" Control system: EnVision CPU: 586 Processor HINE 38A Indexers Process chamber: Ceramic TCP window Endpoint detection, 853-001983-011 Heated endpoint window Process kits, 6" 6" ESC Semi / Major / No minor No chamber liner set SEIKO SEIKI STP-1000 Turbo pump, 1000L/S No turbo pump interlock board Pendulum gate valve: VAT65 Vat gate valve controller: PM7 Main chamber manometer: 100mt Turn RF coil: 6 Turns DIP-PCB RF Tuner Helium back side cooling Gas DSQ Chamber: Hinged DSQ stripper WVDS Gas type and flow configuration: O2, CF4, H2O Heated paddle, 6" Quartz, 6" Manometer: 10 Torr Throttle valve pressure controller: MDVX Auto fill WVDS temperature controller Auto fill WVDS controller Chemraz o-ring APM: Ambient and hot water: 70°C Nitrogen gas blow dry APM DI Water heater controller APM DI Water nozzles Others: On-board 1250W generators: (3) RFG 1250 9600SE EnVision manual No chiller No dry pump.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist ein Ätz-/Aschewerkzeug der nächsten Generation, das zum präzisen Ätzen und Aschen von Halbleitersubstraten entwickelt wurde. Seine fortschrittliche Prozesstechnologie bietet hervorragende Leistung und langfristige Zuverlässigkeit, so dass es in Produktionseinstellungen und Forschungslabors gleichermaßen verwendet werden kann. LAM RESEARCH TCP 9600SE verwendet eine doppelseitige Quarzkatalysatorplatte oder „Ätzplatte“, die kleine Keramikpellets enthält, um eine gleichmäßige Verteilung von wässrigen Reaktanden und Gasen zu schaffen. Die Ätzplatte wird dann einer Vakuumdruckumgebung und Hochfrequenz (RF) -Leistung ausgesetzt, die die Reaktanden erregt und rasch in das Substrat eintreibt. Das Tool ist mit einer hochgradig anpassbaren Software- und Hardwareplattform ausgestattet, die eine präzise Kontrolle der räumlichen Gleichmäßigkeit und Leistungseinstellungen ermöglicht. TCP 9600 SE hat folgende Eigenschaften: Es ist kompatibel mit mehreren Substratgrößen und -formen, so dass Benutzer auf Stücken von 2 cm x 2 cm bis 12 cm x 12 cm ätzen und aschen können. Es bietet auch eine breite Palette von Drücken, Temperaturen und Reaktionsatmosphären zur Auswahl. Es verfügt auch über mehrere zusätzliche Funktionen wie ein Gasdurchflusssteuerungssystem und eine Wasserentsorgung, die eine einfache und sichere Bedienung ermöglicht. Insgesamt ist TCP 9600SE ein Präzisionsätz- und -veraschungswerkzeug, das für Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Die fortschrittliche Prozesstechnologie und das anpassbare Software-Setup bieten eine hervorragende Leistung bei gleichzeitiger Reduzierung der Betriebskosten und -zeit. Die vielseitigen Größenoptionen und die automatisierte Umweltkontrolle sorgen für einen sicheren und effektiven Ätz- und Ascheprozess. Mit seiner langfristigen Zuverlässigkeit ist LAM RESEARCH TCP 9600 SE die perfekte Wahl für jede Ätz-/Ascheanwendung.
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