Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228025 zu verkaufen
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ID: 9228025
Wafergröße: 8"
Etchers, 8"
Control system: EnVision
CPU: 586 Processor
HINE 38A Indexers
Process chamber:
Ceramic TCP window
Endpoint detection, 853-001983-011
Heated endpoint window
Process kits, 6"
6" ESC Semi / Major / No minor
No chamber liner set
SEIKO SEIKI STP-1000 Turbo pump, 1000L/S
No turbo pump interlock board
Pendulum gate valve: VAT65
Vat gate valve controller: PM7
Main chamber manometer: 100mt
Turn RF coil: 6 Turns
DIP-PCB RF Tuner
Helium back side cooling
Gas
DSQ Chamber:
Hinged DSQ stripper
WVDS
Gas type and flow configuration: O2, CF4, H2O
Heated paddle, 6"
Quartz, 6"
Manometer: 10 Torr
Throttle valve pressure controller: MDVX
Auto fill WVDS temperature controller
Auto fill WVDS controller
Chemraz o-ring
APM:
Ambient and hot water: 70°C
Nitrogen gas blow dry
APM DI Water heater controller
APM DI Water nozzles
Others:
On-board 1250W generators: (3) RFG 1250
9600SE EnVision manual
No chiller
No dry pump.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist ein Ätz-/Aschewerkzeug der nächsten Generation, das zum präzisen Ätzen und Aschen von Halbleitersubstraten entwickelt wurde. Seine fortschrittliche Prozesstechnologie bietet hervorragende Leistung und langfristige Zuverlässigkeit, so dass es in Produktionseinstellungen und Forschungslabors gleichermaßen verwendet werden kann. LAM RESEARCH TCP 9600SE verwendet eine doppelseitige Quarzkatalysatorplatte oder „Ätzplatte“, die kleine Keramikpellets enthält, um eine gleichmäßige Verteilung von wässrigen Reaktanden und Gasen zu schaffen. Die Ätzplatte wird dann einer Vakuumdruckumgebung und Hochfrequenz (RF) -Leistung ausgesetzt, die die Reaktanden erregt und rasch in das Substrat eintreibt. Das Tool ist mit einer hochgradig anpassbaren Software- und Hardwareplattform ausgestattet, die eine präzise Kontrolle der räumlichen Gleichmäßigkeit und Leistungseinstellungen ermöglicht. TCP 9600 SE hat folgende Eigenschaften: Es ist kompatibel mit mehreren Substratgrößen und -formen, so dass Benutzer auf Stücken von 2 cm x 2 cm bis 12 cm x 12 cm ätzen und aschen können. Es bietet auch eine breite Palette von Drücken, Temperaturen und Reaktionsatmosphären zur Auswahl. Es verfügt auch über mehrere zusätzliche Funktionen wie ein Gasdurchflusssteuerungssystem und eine Wasserentsorgung, die eine einfache und sichere Bedienung ermöglicht. Insgesamt ist TCP 9600SE ein Präzisionsätz- und -veraschungswerkzeug, das für Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Die fortschrittliche Prozesstechnologie und das anpassbare Software-Setup bieten eine hervorragende Leistung bei gleichzeitiger Reduzierung der Betriebskosten und -zeit. Die vielseitigen Größenoptionen und die automatisierte Umweltkontrolle sorgen für einen sicheren und effektiven Ätz- und Ascheprozess. Mit seiner langfristigen Zuverlässigkeit ist LAM RESEARCH TCP 9600 SE die perfekte Wahl für jede Ätz-/Ascheanwendung.
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