Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228027 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist ein High Aspect Ratio Plasma Asher/Etcher Equipment. Es ist ein thermisches und chemisches Plasmaätzsystem, das auf der TCP-Technologie des Macrosolver basiert. Diese Ätzeinheit bietet Präzisionsmusterübertragung zusammen mit überlegener Topographieoptimierung. Es ist in der Lage, Ätzprofile mit einer Tiefe größer als 10 Mikrometer mit einem hohen Seitenverhältnis Merkmalsgröße zu erzeugen. LAM RESEARCH TCP 9600SE hat auch die Fähigkeit für niedrigen Kontaktwiderstand über molekulare Adhäsion. TCP 9600 SE eignet sich am besten für fortschrittliche Werkstoff- und Engineering-Anwendungen mit hohem Seitenverhältnis und hohen Seitenverhältnisfunktionsgrößen. Es ist die perfekte Maschine für Advanced Manufacturing, Automotive, Leistungselektronik und Materialanwendungen. Die hohe Seitenverhältnisfähigkeit und der geringe Kontaktwiderstand machen es zu einer vielseitigen Ätz- und Abscheidemaschine für Kunden, die Genauigkeit und Geschwindigkeit benötigen. TCP 9600SE verfügt über drei unabhängige Quellkammern für die Gaszufuhr von Reaktanten und einen großen hochreinen HF-Generator mit 5 Zielen für Präzisionsätzen. Die 4-Zoll-Durchmesser strahlungsisolierte hochreine Quarz-Prozesskammer sorgt für höchste Gleichmäßigkeit, niedrige Partikelwerte und schnelle Prozessrückgewinnungszeiten. Ein erweitertes hochauflösendes Video-Imaging-Tool ermöglicht die volle Kontrolle über das Prozessfenster-Wafer-für-Wafer. Darüber hinaus bietet die integrierte Zwei-Kanonen-Kathodenbogentechnik eine gleichmäßige und effiziente Abscheidung von hochreinem Ti, TiN, AlN, Al2O3 und PVD-Hartchrom/Cobalt. LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist mit dem proprietären Process Control Tool (PCT) von LAM ausgestattet, um eine vollständige Erfahrung mit wiederholbarer, berechenbarer Prozessleistung zu realisieren. Das Tool bietet eine effektive Kontrolle über die Gleichmäßigkeit der Lichtbogenabscheidung, die Strom- und Leistungssteuerung, das Process Diagnostic Tool (PDT) mit eingebetteter statistischer Prozesssteuerung (SPC) und ein erweitertes Quellgasmanagement für die Multi-Gas-Lieferung. LAM RESEARCH TCP 9600SE verfügt über eine Mehrfachvakuumgate-Anlage zur verbesserten Quellgasisolierung und einen größeren Quellgaskrümmer zur verbesserten Gasflusssteuerung. Für verschiedene Prozessdurchsatzanforderungen in der automatisierten Umgebung stehen eine Reihe unabhängiger Durchsatzoptionen zur Verfügung. Die kompatiblen Teile reichen von 400 mm Substraten mit jeder Form, niedermolekularen Abscheidungen und fortgeschrittenen Metallen ätzen. TCP 9600 SE ist kompatibel mit WADD- und SFT-Formaten, SECS/GEM, ProdLink und Software Remote Data Access-Protokollen. Darüber hinaus erfüllt dieses Modell die neuesten Sicherheitsvorschriften wie ECE, UL, IEC und CSA.