Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228028 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist eine Halbleiter-Ätz-/Ascheausrüstung, die auf optimale Leistung und Komfort ausgelegt ist. Es bietet ein vollautomatisches Ätz-/Ascheverfahren für eine breite Palette von Dielektrika, Metallen und anderen Materialien. Das System ist mit Standard-Ätz-/Ascherezepten vorprogrammiert, um Konsistenz und Flexibilität bei der Erstellung von Chargen von einzigartigen Funktionen zu bieten. LAM RESEARCH TCP 9600SE ist mit fortschrittlichen Funktionen wie einer Mehrkopf-Fördereinheit, einer Mehrkanal-Steuerungsmaschine und einem High-Speed-Wafer-Mapping-Tool ausgestattet. Die Mehrkopfförderanlage nutzt sowohl eine Rollenbahn als auch ein akustisches Transportteilsystem. Die Rollenbahn ist in ihrer Größe verstellbar, um Wafer verschiedener Größen aufzunehmen. Das akustische Transportsubsystem ist zur berührungslosen Übertragung von Wafern ohne mechanischen Kontakt ausgelegt. Der Rollenantrieb liefert Unterdruckluft in eine geschlossene Kammer, wodurch die Wafer innerhalb der Kammer „schwimmen“ können. Das akustische Transport-Subsystem wird von einem Ultraschalloszillator angetrieben, der die Wafer durch ein durch das Vibrationsrohr erzeugtes akustisches Feld antreibt. TCP 9600 SE ist mit einem Mehrkanal-Steuermodell zur Steuerung der Prozessparameter und der Wafer-Zuordnung ausgestattet. Die optisch abgebildete Wafer-Kartierung ermöglicht eine präzise Positionierung der Wafer auf den Trägerplatten. Die mehrkanalige Steuerungseinrichtung ermöglicht auch die Verfolgung von Echtzeit-Ätz- und Aschefortschritten, um sicherzustellen, dass die Ätz-/Aschekammerbedingungen während des gesamten Prozesses optimal bleiben. Das in das Gerät integrierte High-Speed-Wafer-Mapping-System wird mit einem Laser betrieben, der eine schnelle Abbildung der Wafer auf Trägerplatten ermöglicht. Die gespeicherten Mapping-Daten dienen zur Überwachung des Status von Ätz- und Ashing-Prozessen. Die Kartiermaschine ist in der Lage, mit einer Genauigkeit von bis zu 5 Mikrometern die genaue Abmessung jedes Wafers und seine entsprechende Position auf der gestützten Platte genau zu definieren. TCP 9600SE ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der eine präzise Kontrolle über den gesamten Ätz- und Ascheprozess bietet. Es ermöglicht Hochgeschwindigkeits-Mapping und präzises Ätzen/Aschen einer breiten Palette von Materialien. Sein automatisiertes Prozess- und Präzisionskontrollwerkzeug sorgt für konsistente und zuverlässige Ergebnisse. LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist eine ideale Bereicherung für die Serienfertigung präziser mikroelektronischer Teile.