Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9235586 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9235586
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Etcher, 8"
Main process module (PM1): TCP 9600SE Metal etch
Pedestal type:
Wafer clamp: ESC With He cooling
Electrode gap: Fixed gap
Casette interface:
(2) Hine 38A indexers
Gas box configuration:
Orbitally welded gas box
Backside helium cooling: Unit MFC (50 sccm)
Gas line # / Gas / Flow (sccm) / MFC Mfgr / MFC Model
1 / N2 / 100 / Unit / 1600
2 / O2 / 100 / Unit / 1600
3 / N2 / 10 / Unit / 1600
4 / CL2 / 100 / Unit / 1660
5 / BCL3 / 100 / Unit / 1660
6 / SF6 / 100 / Unit / UFC-1200A
H2O 500 TYLAN VC-4900VRH
CE Marked
2000 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist ein leistungsstarker Ätzer, der in der Halbleiterherstellungsindustrie verwendet wird. Es ist eine voll ausgestattete Plattform, die den gesamten Ätzprozess abdeckt, von der Waferbeladung bis zur Prozesssteuerung, Produktreinigung und Emissionsüberwachung. Das Gerät verwendet ein LAMAX-Gasfördersystem, das über einen Druckbereich von bis zu 60 Millibar arbeitet und eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht. Die Maschine ist in der Lage, Substrate mit einer maximalen Wafergröße von 200 mm zu ätzen, wobei eine Prozesszeit pro Wafer von 3 bis 30 Minuten reicht. LAM RESEARCH TCP 9600SE umfasst erweiterte Softwarekomponenten, die es ermöglichen, die Prozessparameter zu analysieren und hochpräzises Ätzen zu ermöglichen. Diese Komponenten umfassen einen lichtbasierten Detektor, eine Kapazitätsspannungsübertragungseinheit und einen Hochdurchsatzgassensor. Mit dieser Maschine können Anwender die Prozessparameter auf das gewünschte Ätzergebnis abstimmen. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, den Gasstrom genau zu überwachen, um die optimale Ätzumgebung zu erhalten. TCP 9600 SE enthält auch integrierte Diagnosen und Tools, mit denen es seine Leistung überwachen kann. Die Maschine nutzt eine fortschrittliche thermische Steuerung, die den Durchsatz maximiert und gleichzeitig Abfälle und Emissionen minimiert. Es verfügt auch über eine Touchscreen-Schnittstelle, die Zugriff auf alle Funktionen des Modells bietet. Zusätzlich ist der Ätzer mit einer Präzisionsquarzbeschichtung ausgestattet, die die Kammer sauber hält und eine Verschmutzung der Kammerumgebung verhindert. TCP 9600SE ist ein effektiver und effizienter Ätzer, der Anwendern in der Halbleiterherstellungsindustrie die Möglichkeit bietet, ihren Ätzprozess genau abzustimmen. Mit einer leistungsstarken Softwarekomponente, einem ausgezeichneten Baudesign und fortschrittlichen Werkzeugen bietet die Maschine Halbleiterherstellern eine effektive Möglichkeit, qualitativ hochwertige Ätzergebnisse zu erzielen.
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