Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9244726 zu verkaufen

'LAM RESEARCH TCP 9600 SE' ist eine Ätzausrüstung, die speziell für Halbleiterwaferätzanwendungen entwickelt wurde. Dieses System wurde entwickelt, um optimale Prozessparameter und Gleichmäßigkeit zu bieten und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Es bietet höchste Durchsätze in der Produktion mit höchster Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit und Prozesssicherheit für das Ätzen moderner strukturierter Geräte. LAM RESEARCH TCP 9600SE ist eine kassettenbeladene, voll ausgestattete Einheit, die automatisches Wafer-Laden, Wafer-Mapping und Wafer-Erkennung mit statistischer Prozesssteuerungsmaschine bietet. Dies gibt dem Anwender die volle Kontrolle über den Ätzprozess, von der Rezeptauswahl bis zur eigentlichen Verarbeitung. Die Pumpe ist eine Drehflügelpumpe, die dem Werkzeug einen zuverlässigen und konstanten Betriebsdruck verleiht. Der Ätzer verwendet einen Hochleistungs-Mikrowellengenerator, um Prozessgase, einschließlich Chlorverbindungen, zu erhitzen, um das Gas zu ionisieren und das zu ätzende Material vom Wafer elektrisch zu sputtern. Die Gasreinigung entfernt Submikronpartikel und Verunreinigungen aus dem Prozessabfluss, um die Laborumgebung zu schützen. Das Modell verfügt über eine Kühlöffnung, die den Wafer auf die gewünschte Temperatur kühlt, um den Ätzvorgang abzuschließen. TCP 9600 SE umfasst auch erweiterte Steuerungssysteme. Dazu gehören eine Quarzfenstertemperatur-Regeleinrichtung, eine automatisierte Ventilsteuerung und eine Substrattemperatur-Regeleinrichtung. Die Quarzfenstertemperaturregelmaschine sorgt für einen gleichbleibenden Sauerstoffpartialdruck in der Prozesskammer, der gleichmäßige Ätzraten fördert. Das automatisierte Ventilsteuerwerkzeug sorgt für eine sichere und konsequente Abschaltung von Prozessgasen. Die Substrattemperaturkontrolle verhindert, dass sich instabile Flocken oder chemische Spezies auf dem Wafer bilden. Ein erweitertes Anti-Overfill-Modell ist ebenfalls im Ätzer enthalten. Diese Ausrüstung verhindert eine Überfüllung des chemischen Reservoirs und gewährleistet einen sicheren und konsistenten Ätzprozess. TCP 9600SE ist für die Kompatibilität mit einer Vielzahl von Wafern konzipiert, einschließlich Silizium-on-Isolator (SOI), einschichtig und doppelschichtig. Dieses System ist für den Einsatz in Reinraumumgebungen, einschließlich chemisch-toleranter Isolatorhauben, konzipiert und erfüllt mehrere Sicherheitsstandards, darunter NFPA 495, NFPA 497, EG-Richtlinie 94/9/19 und ISO 9001/14001. LAM RESEARCH TCP 9600 SE Ätzgerät ist eine fortschrittliche Ätzmaschine, die optimale Ätzprozessparameter, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit bietet. Dieses Tool sorgt für einen konsistenten und sicheren Ätzprozess und ist in einer Vielzahl von Halbleitermaterialien und Reinraumeinstellungen einsetzbar.