Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9268139 zu verkaufen

ID: 9268139
Wafergröße: 4"
Etcher, 4".
LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist eine fortschrittliche Ätzlösung für eine Vielzahl von Substraten, einschließlich Halbleiter- und Quarzmaterialien und anderen speziellen Materialien. LAM RESEARCH TCP 9600SE wird von einer hochmodernen Windows-Betriebsausrüstung betrieben, die eine schnelle und einfache Verbindung zu anderen Peripheriegeräten ermöglicht. Die reaktive Ionenätztechnologie (RIE) nutzt einen aktiven Strahl aus globalen Ionen, um präzise geätzte Merkmale zu einer Vielzahl von Substraten zu erzeugen. Die erweiterten Steuerungen des Systems bieten sowohl Nitrid-Ätz- als auch Photoresist-Stripping-Funktionen mit einer breiten Palette von anpassbaren Parametern für optimale Ergebnisse. Die einfach zu bedienende Steuerschnittstelle ermöglicht eine einfache Programmierung von Parametern wie Ätzgeschwindigkeit, Temperatur, Gasfluss und Kammerdruck. Der Ätzer verfügt über eine große Gerätefläche, die die Integration in größere Produktionslinien ermöglicht, während seine Vielseitigkeit der Befestigung es ermöglicht, eine Vielzahl von Substraten zu handhaben. Der 9600 SE ist mit einem fortschrittlichen HF-Generator ausgestattet, der ein gleichmäßiges Ätzen praktisch jeder erforderlichen Oberflächengeometrie ermöglicht. Der Generator entspricht weiterhin der dichten RIE-Impedanzregelung, um konsistente Ätzergebnisse zu gewährleisten. Es hat auch eine Plasma-Reinigungsfähigkeit, die die Entfernung von organischen Rückständen, Oberflächenoxidschichten und Metalloxidschichten ermöglicht. Dadurch kann das Gerät Bauteile bis auf eine sehr hohe Genauigkeit ätzen. TCP 9600 SE verfügt über eine ausgeklügelte Vakuumkammer, die eine ultrastabile und wiederholbare Ätzleistung bietet. Die Kammer ist speziell für RIE konzipiert und verfügt über eine fortschrittliche Vakuumpumpmaschine und eine einkristalline diamantartige Beschichtung über alle Kammerwände. Dies sorgt für optimale Ätzgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Zusätzlich ist der 9600 SE mit elektropolierten Kammerwänden ausgestattet, was einen langen Lebenszyklus bei optimaler Ätzqualität ermöglicht. Insgesamt ist TCP 9600SE ein ausgeklügeltes Ätzwerkzeug, das höchste Präzision und Wiederholbarkeit bei minimaler Benutzereinbindung bietet. Die fortschrittliche RIE-Technologie und der integrierte HF-Generator bieten eine hohe Ätzgenauigkeit für eine Vielzahl von Komponenten und Substraten. Seine einkristalline diamantartige Beschichtung und elektro-polierten Wände sorgen für unübertroffenes Vakuum und Wiederholbarkeit Leistung, während seine integrierte Windows-Betriebsmittel eine schnelle und einfache Modellanbindung gewährleisten.
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