Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9300195 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist ein industrieller Ätzer und Ascher, der für den Einsatz in der Halbleiterindustrie optimiert ist. Es wurde entwickelt, um komplexe Strukturen schnell in eine Vielzahl von Substraten mit extrem hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu ätzen. Die Standardversion der Maschine verwendet eine neue Generation von Prozesssteuerungssoftware und -hardware, die eine bessere Einheitlichkeit und Produktivität für verschiedene Ätz- und Ascheprozesse bietet, einschließlich Reactive-Ion-Ätzen (RIE), elektrochemisches Ätzen (ECE) und Plasmaätzen (PE). Die Maschine umfasst auch ein Inertgasfördersystem, das eine optimale Gleichmäßigkeit und Qualität des Ätz- oder Ascheprozesses gewährleistet. LAM RESEARCH TCP 9600SE ist mit den hochwertigsten Materialien gebaut, um zuverlässige Leistung und verlängerte Lebensdauer während rauer Fertigungsprozesse zu bieten. Der Substratheizer (SH) hat einen Prozesskammertemperaturbereich von 25 bis 400 ° C und ermöglicht eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen. Darüber hinaus verfügt TCP 9600 SE über ein X-Y-Z-Antriebssystem mit einer maximalen horizontalen Geschwindigkeit von 800 mm/s und einer vertikalen Geschwindigkeit von 600 mm/s und bietet ein schnelles, genaues Ätzen für alle Metalle und Nichtmetalle. TCP- 9600SE können für die Prozesschemie wie Vollfeld-, Direct-Write-Etch und planare integrierte Schaltungen (IC) verwendet werden, wie sie in Gigabit-Speichergeräten verwendet werden. Darüber hinaus wurde die Maschine optimiert, um eine überlegene Leistung beim Ionenimplantieren und Diamantschubschneiden zu bieten, wodurch sie für anspruchsvolle Arten der elektronischen und photovoltaischen Geräteproduktion geeignet ist. Der Ätzer und Ascher ermöglicht den Betrieb einer Vielzahl von Gasen, einschließlich O2, H2, HE und CH4, sowie hohe Konzentrationen von Ar, HCl, SiCl4 und NH4HF2. LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist auch vollständig in Prozessüberwachungseinrichtungen zur Erfassung von Echtzeitgas- und Vakuummessungen integriert. Der mitgelieferte Operator HMI (Mensch-Maschine-Schnittstelle) verfügt über mehrsprachige Unterstützung und wurde für einfache Bedienung und Fehlerbehebung entwickelt. Dialoggesteuerte Menüs bieten Benutzern alle Informationen, die zum Einrichten und Steuern der Maschine erforderlich sind. LAM RESEARCH TCP 9600SE ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der für den industriellen Einsatz entwickelt wurde und in der Lage ist, überlegene Ätz- und Ascheergebnisse zu liefern. Mit seiner robusten, benutzerfreundlichen Bedienung und fortschrittlichen Prozesssteuerung ist es eine ausgezeichnete Wahl für anspruchsvolle Ätz- und Ascheproduktionsprozesse.