Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9410050 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 SE ist eine flexible und kostengünstige Ätz- (oder Ascher) -Ausrüstung, die speziell auf die Anforderungen der Prozessanforderungen auf Geräteebene zugeschnitten ist. Dieses System eignet sich für eine breite Palette von Prozessparametern, einschließlich Löcher, Gräben, Düsen, eingebettete Gräben, hohe Seitenverhältnisse und Dielektrika. Mit seinem fortschrittlichen Steuerungspaket bietet dieses Gerät eine überlegene Kontrolle, Geschwindigkeit und Genauigkeit bei gleichzeitiger Minimierung der Kontamination und Beseitigung der Notwendigkeit kostspieliger prozessbasierter Rezepte. LAM RESEARCH TCP 9600SE verwendet eine DC-Plasmaquelle, die hohe Ätzselektivität und Gleichmäßigkeit sowie eine hohe Ätzrate ermöglicht. Dieser Ätzer ist in der Lage, kleine Geometrien und Merkmale, einschließlich 2D- und 3D-Features, wie Bohrungen und Gräben, mit ausgezeichneten Erträgen und Reproduzierbarkeit zu verarbeiten. Darüber hinaus ermöglicht die integrierte X-Y Bewegungsmaschine eine präzise Profilierung und Einstellung von Funktionen. Das hochgenaue Bewegungssteuerungswerkzeug kann angepasst werden, um die Gleichmäßigkeit von Formularen und Größen zu gewährleisten. Der Ätzer verfügt auch über fortschrittliche technologische Funktionen, wie integrierte Waferreinigung und -wäsche, fortschrittliche Druck- und Durchflussregelung und unabhängige thermische Zonensteuerung. Seine Prozessgenauigkeit und -genauigkeit wird durch seine proprietäre fortschrittliche ChamberView-Technologie weiter verbessert, die kritische Vor-Ort-Prozessüberwachungsfunktionen ermöglicht. Darüber hinaus bietet der integrierte Advanced Process Tuning Mode (PTM) überlegene Genauigkeit und Prozesskontrolle. TCP 9600 SE ist anpassungsfähig für eine Reihe von Prozessen, einschließlich Front-End of Line (FEOL) und Back-End of Line (BEOL) Prozesse. Es kann komplexe Strukturen mit einem Ätzfenster von 0,3 μ m bis 150 μ m verarbeiten, je nach Art des Materials und Prozessanforderungen. Darüber hinaus verfügt das Ätzgerät über eine eingebaute Elektrotauchlackierung und Verdampfungsprozesse, um die Abscheidung von Metallen und dielektrischen Schichten mit dem gleichen Verfahren zu ermöglichen. Abschließend ist TCP 9600SE etcher ein kostengünstiges und zuverlässiges Asset, das die anspruchsvollsten Prozessanforderungen auf Gerätestufe erfüllen kann. Das Modell bietet ausgezeichnete Ätzselektivität, Einheitlichkeit und Genauigkeit sowie fortschrittliche Technologien, die überlegene Prozesssteuerungs- und Prozessüberwachungsfunktionen bieten.