Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 #148436 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascherausrüstung, die für fortschrittliche Mikrofabrikationsprozesse entwickelt wurde. Es bietet eine präzise Steuerung der Temperatur- und Prozessparameter und ermöglicht das Ätzen und Aschen empfindlicher Substrate unter Einhaltung präziser Temperatur- und Prozessparameter. LAM RESEARCH TCP9600 System basiert auf einer Gascluster-Ionenquelle, die in das Gerät integriert ist und eine präzise, Niederspannungs- und Hochstromquelle liefert. Darüber hinaus ist die Maschine mit zwei abnehmbaren Waferhaltern ausgelegt, die sowohl für Nachätz- als auch Nachascheanwendungen ausgelegt sind, um eine Flexibilität des Werkzeugs zu gewährleisten. Die Halter sind für Wafergrößen bis 200 mm ausgelegt und bieten Platz für Prozessrezepte zwischen 0,2 bis 0.6kV. Die Anlage verfügt auch über eine Temperatur- und Wärmeableitungssteuerungsfähigkeit, die die Temperatur des Substrats während des Ätzens oder des Aschens begrenzen kann. Dieses Merkmal ist auch wichtig, um die Möglichkeit von Probenschäden durch hohe Temperaturen zu minimieren. Das Modell ist mit einer Inertgasatmosphäre ausgestattet, die eine Verunreinigung des Substrats durch Reaktion von Stoffen in der Atmosphäre verhindert. Es ist programmierbar, gesteuerte Parameter basierend auf benutzerdefinierten Rezepten bereitzustellen. TCP-9600 verfügt auch über erweiterte Programmierfunktionen, mit denen der Benutzer Ätzparameter angeben, Gase auswählen, Gasfluss aktivieren/deaktivieren und Gasfluss auswählen, Ultrahochfrequenzleistung aktivieren/deaktivieren und Cluster- und Strahl-Ionensteuerung aktivieren/deaktivieren kann. Der Benutzer kann sogar einzelne Ätz- und Ascheparameter einstellen. Schließlich bietet die Gerätesoftware TCP 9600 eine intuitive Benutzeroberfläche zur Konfiguration und Überwachung der Ätz- und Aschvorgänge. Insgesamt ist LAM RESEARCH TCP-9600 ein qualitativ hochwertiges Ätz-/Aschesystem, das eine präzise Temperatur- und Prozesskontrolle ermöglicht. Seine fortschrittlichen Eigenschaften ermöglichen es ihm, qualitativ hochwertige Strukturen und Muster auf einer Vielzahl von Substraten zu erstellen, was es zu einer idealen Lösung für fortschrittliche Mikrofabrikationsprozesse macht.