Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 #293762298 zu verkaufen
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ID: 293762298
Wafergröße: 8"
Metal etcher, 8"
(3) RFG 1251 Generators
ADIXEN / ALCATEL 1300 Turbo pump
ADIXEN Turbo controller
VAT 65 Gate valve
VAT PM-7 Controller
ESC Clamping
Dual endpoints: 703 nm and 520 nm
Bulk head mounting
Hine indexer
Closed loop
RF Match: Upper TCP, lower mini match, DSQ Match
DSQ Hinged
WVDS Auto fill
STEC 7440 MFCs
APM: Standard
Gases:
Gases / SCCM
CL2 / 200
BCL3 / 100
SF6 / 100
N2 / 50
N2 / 1000
AR / 100
O2 / 1000
CF4 / 200
H2O / 500.
LAM TCP 9600 ist ein industrieller Ätzer/Ascher für Präzisionsätzen/Aschen in der Hochdurchsatz-Halbleiterherstellung. Es nutzt eine intuitive Benutzeroberfläche, um erstklassige Steuerung, Genauigkeit und Reproduzierbarkeit zu bieten. Das Gerät ist mit einem hochmodernen optischen Ausrichtsystem ausgestattet, das eine präzise Ätz- und Ascheausführung gewährleistet. Das Gerät verfügt über einen hochauflösenden Hochgeschwindigkeits-Digital-Imager zur Aufnahme von Bildern höchster Qualität. Es enthält auch erweiterte Optik und Software, damit Benutzer ihr Substrat für das Ätzen/Aschen ohne zusätzliche Hardware oder Zubehör einfach und genau positionieren können. Die Maschine ist auch mit LAM proprietären TCP 9600 Controller ausgestattet. Diese Steuerung enthält einen 32-Bit ARM-Core internen Prozessor sowie einen reichen Satz digitaler und analoger Signalein- und -ausgänge zur Schnittstelle mit verschiedenen Geräten, wie PID-Reglern, Temperatursensoren und Motoren. Das Tool enthält eine umfassende Suite von Softwareanwendungen, mit denen Benutzer die Asset-Einstellungen anpassen, Aktivitäten überwachen und Änderungen in Echtzeit vornehmen können. Der Controller kann die Vorteile der erweiterten LAM-Kommunikationsprotokolle wie TCP/IP, Ethernet, USB und RS232 voll ausschöpfen. Dadurch lässt sich das Modell einfach mit anderen Computern und Geräten vernetzen. Diese Kommunikationsprotokolle ermöglichen es, das Gerät an eine Vielzahl von Steuerungssystemen anzuschließen, wodurch Benutzer die Flexibilität erhalten, ihre Nutzungssituationen anzupassen und das System auf verschiedene Weise zu konfigurieren. Das Gerät ist für schnelles und effizientes Ätzen/Aschen unterschiedlichster Materialien ausgelegt, darunter Metalle, Legierungen, Polymere, Halbleiter und magnetische Materialien. Zur präzisen Steuerung des Ätzprozesses ist die Maschine in der Lage, einen weiten Temperaturbereich von bis zu 110 ° C (230 ° F) zu unterstützen. Das Tool verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um Benutzer vor potenziellen Gefahren zu schützen. Neben seiner bewährten Zuverlässigkeit bietet LAM TCP 9600 hervorragende Leistung und Präzision. Das Asset bietet Genauigkeit bis zu 0,1 μ m und einen Ätzkursbereich von 0,00001 bis 100 μ/min. Das Modell bietet zudem eine präzise Kontrolle der Tiefe und des Winkels sowie eine hervorragende Selektivität, so dass Benutzer hervorragende Ätzergebnisse erzielen können. TCP 9600 ist wirklich ein revolutionärer, hochmoderner industrieller Ätzer/Ascher, der zuverlässige und präzise Ätz- und Aschefunktionen bietet. Es ist eine ideale Lösung für die Hochdurchsatz-Halbleiterherstellung und bietet eine hervorragende Kontrolle, Genauigkeit und Reproduzierbarkeit für alle Arten von Anwendungen.
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