Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 #293805103 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600
ID: 293805103
Metal etcher.
LAM RESEARCH TCP 9600 ist eine Plasmaätz-/Aschermaschine, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Das System ist so konzipiert, dass Oberflächen mit hoher Wiederholgenauigkeit präzise gemustert und geätzt oder geascht werden. LAM RESEARCH TCP9600 verwendet zwei einzelne Quellkammern, die separat konfigurierbar sind und optimierte Ätzraten für dielektrische, Metall- und Siliziumoxidmaterialien ermöglichen. Das Gerät nutzt ein ausgeklügeltes und effizientes neues Verfahren, das auf LAM RESEARCH proprietären niederdruckinduktiven gekoppelten Plasmaquellen basiert. Die Plasmaquellen ermöglichen ein hochpräzises Ätzen und Aschen von Strukturen aus Metallschichten, Siliziumoxid und Nitridmaterialien. Die innovativen Quellkammern der Maschine sind so konzipiert, dass sie hochreine und zuverlässige Prozessergebnisse erzielen, eine gleichbleibende Leistung gewährleisten und eine kostengünstige Lösung bieten. Die vollautomatischen Systeme bieten ein hohes Maß an Prozesskontrolle und Feedback, was zu geringeren Kosten und höherer Betriebszeit führt. TCP-9600 kommt auch mit einer breiten Palette von LAM RESEARCH Software-Funktionen, die eine einfache und genaue Prozess Rezept Setup, Ausführung und Prozessoptimierung ermöglichen, um optimale Ätzergebnisse zu gewährleisten. Der LAM TCP 9600 ermöglicht das Ätzen und Aschen von dielektrischen, Metall- und Siliziumoxidmaterialien mit ausgezeichneter Präzision und Wiederholbarkeit auf kostengünstige Weise. Die beiden unabhängigen Quellkammern, die integrierte Automatisierung und das gemeinsame Steuerungstool ermöglichen eine schnelle und einfache Prozesseinrichtung. Die Ätzkammer ist auch mit Lastschlössern ausgestattet, und optionale externe und hintere Ladeblocksysteme ermöglichen einen hohen Durchsatz. Das einzigartige Plasmaquellen-Setup ermöglicht umweltfreundliche und verbrauchsarme Workflows sowie hohe Prozessgleichförmigkeit, Wiederholbarkeit und Stabilität. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine einzigartige Abgasbehandlungsfunktion und erfordert sehr wenig Wartung, was sowohl umweltfreundlich als auch kosteneffizient ist. Insgesamt ist TCP9600 Ätzer/Ascher ein fortschrittliches Modell, das entwickelt wurde, um Präzision, Wiederholbarkeit und Genauigkeit bei der Verarbeitung von dielektrischen, Metall- und Siliziumoxidmaterialien zu gewährleisten. Die beiden Quellkammern, die gemeinsame Steuerung und die ausgeklügelte Prozesssteuerung und Rückkopplung bieten eine kostengünstige und effiziente Lösung. Das System ermöglicht auch eine einfache Rezepteinrichtung und -ausführung sowie Prozessoptimierung für optimale Ätzergebnisse. Mit seinem umweltfreundlichen Design und dem wartungsarmen Aufbau ist LAM RESEARCH TCP-9600 eine zuverlässige und kostengünstige Einheit zum Ätzen und Aschen von Halbleitermaterialien.
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