Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 #293809935 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 ist eine leistungsstarke Ätz-/Aschermaschine, die entwickelt wurde, um Wafer mit Präzision und hohem Durchsatz genau zu verarbeiten. Es ist mit einem robusten, präzisen Etch-System ausgestattet und kann eine vollautomatisierte Produktion mit präziser Temperaturregelung und genauen Zykluszeiten abwickeln. Das Gerät verfügt über eine voll programmierbare Source/Drain-Implantatquelle, die auf jeden Herstellungsvorgang von Halbleiterbauelementen zugeschnitten werden kann. Diese Maschine ist in der Lage, Hochgeschwindigkeitsätz- und Aschevorgänge mit einem breiten Spektrum von Materialien und Anwendungen zu handhaben. LAM RESEARCH TCP9600 ist ein modulares, hochpräzises Ätz- und Aschewerkzeug, das je nach Anwendung eine Vielzahl von Ätz- und Ascheoperationen ermöglicht. Es hat eine Einkammer-Konstruktion mit einer eigenen Ätz- und Aschekammer, die einen Temperaturbereich von bis zu 500 ° C bietet. Die Anlage ist zudem mit einem hochbelastbaren Präzisionsmotor ausgestattet, der eine präzise Steuerung der Ätzrate ermöglicht. Es enthält auch eine Reihe von erweiterten programmierbaren Funktionen zur präzisen Steuerung der Ascherate, Durchflussraten und Druck. TCP-9600 bietet auch hohe Geschwindigkeit und Durchsatz, bietet bis zu 200 mm/min Ätzraten und bis zu 400mm/min Ascheraten. Das Modell ist für bis zu acht Prozesse mit jeweils drei Ebenen und sieben Ätzebenen ausgelegt. Es verfügt auch über eine umfassende Musterabdeckung mit Funktionen wie automatische Randerkennung, Seitenwandprofilierung und Überschnittschutz. TCP 9600 ist eine zuverlässige Ausrüstung und wurde entwickelt, um die maximale Betriebszeit während der Produktion zu gewährleisten. Es ist mit einem fortschrittlichen Prozessverfolgungssystem ausgestattet, das Aktivitäten und Ereignisse protokolliert und zur Überwachung der Geräteleistung verwendet werden kann. Zur einfachen Wartung ist TCP9600 auch mit einer Selbstüberwachungsmaschine ausgestattet, die regelmäßige Tests an der Ätzkammer, den Sicherheitsventilen und dem Motor durchführt. LAM RESEARCH TCP-9600 ist ein robustes und zuverlässiges Ätz- und Aschewerkzeug, das eine präzise Materialbearbeitung und einen hohen Durchsatz ermöglicht. Es ist eine sehr anpassungsfähige Lösung für moderne Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen, und seine fortschrittlichen Eigenschaften für präzises Ätzen und Aschen machen es zu einer idealen Lösung für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen.