Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 #293809943 zu verkaufen
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ID: 293809943
Etchers, parts systems
Gas box
Chamber wall
Missing parts:
Harmonic arm
WVDS
PCB Board
Generator
VAT Valve
Isolation valve
Turbo pump.
LAM RESEARCH TCP 9600 ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für die hochvolumige Plasmabearbeitung entwickelt wurde. Es ist auf einer Zweikammer-Plattform aufgebaut, die ein gleichzeitiges Plasmaätzen mehrerer Substrate ermöglicht und ein schnelles Umschalten zwischen Kammern für Chargenoperationen ermöglicht. Die Prozesskammer ist für zwei Substratgrößen bis 8 Zoll Durchmesser ausgelegt und mit einer 8-Prozeß-Gasförderanlage ausgestattet, die eine enge Prozesssteuerung ermöglicht. Das integrierte Vakuumsystem sorgt für geringe Partikelverschmutzung und eine große linear bewegte HF-Antenne verkürzt die Ätzzeit. Eine polierte Edelstahlkammer sorgt für minimale Wartung und eine lange Lebensdauer. LAM RESEARCH TCP9600 ist mit Steuerungssoftware ausgestattet, die den gesamten Ätzprozess automatisiert und jeden Schritt überwacht. Die Hauptsteuerkonsole bietet eine grafische Benutzeroberfläche für einfache Bedienung, mit einer direkten Ethernet-Verbindung zur Fernüberwachung und -steuerung. Es enthält auch eine Bibliothek mit Standardrezept-Einstellungen, die Benutzern eine Reihe von vorprogrammierten Rezepten zur Verfügung stellt, um den Ätzauftrag zu starten. Der Benutzer kann auf die Rezeptbibliothek zugreifen, die Parameter ändern und im Speicher speichern. Darüber hinaus ermöglicht eine Netzwerkverbindung die Fernüberwachung und Fernsteuerung mehrerer Einheiten. Das Gerät ist ferner mit einem 500W HF-Stromgenerator ausgestattet, der die im Plasmaätzprozess benötigte Energie liefert. Der Multi-Mode-Betrieb ermöglicht es, sowohl im Hartätz- als auch im Soft-Etch-Modus zu arbeiten. Die einzigartige Verriegelungsmaschine der HF-Strahlung ermöglicht es TCP-9600 auch, mit gleichmäßigem Druck zu arbeiten und ein gleichmäßiges Ätzen über mehrere Substrate zu ermöglichen. LAM RESEARCH TCP-9600 verfügt über ein automatisches Gasmischwerkzeug mit einem eingebauten Gasmischkrümmer und einem zweistufigen, linearen Schieber, um eine genaue Mischung und einfache Wartung zu gewährleisten. Die Mehrzonen-Mischtechnologie ermöglicht es Benutzern, die Rezepteinstellungen basierend auf den Materialien, die sie ätzen, anzupassen. Die Submikron, hochauflösende 3D-Bildgebungstechnologie sorgt für eine qualitativ hochwertige Musterbildung. Die eingebaute Vakuumanlage trägt zur Minimierung der Gas- und Chemikalienbelastung bei, während die eingebettete Software einen Alarmschutz und eine einfache Wartung bietet. Insgesamt bietet TCP9600 ein zuverlässiges, benutzerfreundliches Ätzmodell, das den Anforderungen jeder Serienproduktion gerecht wird. Mit seiner leistungsstarken Leistung und den fortschrittlichen Eigenschaften übertrifft die Ausrüstung ihre Konkurrenz in Bezug auf Präzision und Genauigkeit und ist damit die ideale Wahl für Hersteller. Diese Eigenschaften machen es zu einem Must-Have für diejenigen, die maximale Effizienz und Wert aus ihren Plasmabearbeitungsoperationen wollen.
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