Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 #293815236 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 ist ein fortschrittlicher Ätzer oder Ascher, der für fortgeschrittenes Ätzen, Strippen und Abscheiden von Photolack, Dielektrika, Polyimid und anderen ätzbaren Materialien in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Sie eignet sich sowohl für hoch- und niedervolumige Chargenprozesse als auch für die Prozessentwicklung und das kostengünstige Prototyping. LAM RESEARCH TCP9600 bietet eine Vielzahl von Prozessfähigkeiten für seine Anwendungen wie hochwertiges Musterätzen, Hochfrequenzätzen, gleichmäßige Abscheidung und RIE-Fähigkeiten (reactive ion etching). Im Betrieb ist TCP-9600 Ätzer mit zwei unabhängigen Plasmaquellenkammern und zwei getrennten Endpunktsteuerungen ausgebildet. Die Plasmaquellen sind über gasförmige Verteilerventile mit dem Abgaskrümmer verbunden, so dass Benutzer die Prozessparameter in jeder Kammer programmieren und steuern können. Auf diese Weise können Anwender nahezu jeden beliebigen Ätz- und Abscheideprozessparameter wie Gasdurchflussraten, Temperaturen und Druckniveaus definieren, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Die Endpunktsteuerung überwacht den Prozess in den Kammern. TCP9600 Ätzer ist mit einem mikrowellenbetriebenen Plasmagenerator und einem erweiterten Steuerungssystem ausgestattet. Es verwendet diese Einheit, um den Kammerdruck, die Temperatur und andere Prozessparameter zu steuern. Der Mikrowellengenerator ermöglicht Hochleistungsprozesse bei gleichzeitiger Verwendung mehrerer Kammern. Die fortschrittliche Steuerungsmaschine verbessert die Prozessstabilität und -genauigkeit in den Ätz- und Abscheidungsprozessen. TCP 9600 Ätzer enthält auch eine erweiterte Reihe von Prozesssensoren zur Messung der Ätz- und Abscheideraten, die eine hohe Prozesskontrolle und Rückkopplung bieten. Zusätzlich kann er an einen Computer zur Fernbedienung und Datenspeicherung angeschlossen werden. LAM RESEARCH TCP-9600 kann mit bis zu neun Gasen arbeiten und kann für bis zu sieben Gasströme in der Ätzkammer programmiert werden. Insgesamt ist der LAM RESEARCH TCP 9600 Ätzer ein fortschrittliches Ätz- und Abscheidungswerkzeug, das sowohl für fortgeschrittene Serienprozesse als auch für kostengünstige Prototypen geeignet ist. Es bietet eine ausgezeichnete Prozesskontrolle, hohe Verarbeitungsraten und eine breite Palette von Prozesssensoren, um höchste Qualitätsergebnisse zu gewährleisten.