Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 #9043962 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600
ID: 9043962
Wafergröße: 5"
Etcher, 5".
LAM RESEARCH TCP 9600 ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um flüchtige, präzise Ätz- und Ascheprozesse mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit durchzuführen. Die Ausrüstung nutzt die neuesten modernen Kammertechnologien, Prozesskontroll- und Unterstützungssysteme, um ein Höchstmaß an Zuverlässigkeit und erstklassige Ergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen zu bieten. Die Kammergröße ist klein, ermöglicht eine hohe Raumausnutzung, ist jedoch in der Lage, Kammervolumen bis zu 16 Kubikzoll zu verarbeiten. Das System verwendet computergesteuerte Hardware, die eine einfache Einrichtung und Überwachung von Parametern ermöglicht. Es ist darauf ausgelegt, die Verformung zu minimieren und die Transfermarke zu minimieren, wodurch die bestmöglichen Ätz- und Ascheergebnisse erzielt werden können. Der Bediener kann mit einem integrierten Softwareprogramm Parameter einrichten sowie Programme erstellen, und das Gerät kann Vorgaben verarbeiten sowie bis zu 50 Wafer für die Batch-Verarbeitung speichern. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine mikroprozessorbasierte PID-Steuerung für mehr Präzision und Wiederholbarkeit. Mit ihm kann ein Benutzer einen gleichmäßigen Gasstrom über die Kammer erzeugen und halten, was weiter hilft, konstant hervorragende Ergebnisse zu erzielen. LAM RESEARCH TCP9600 verfügt zudem über einen integrierten Druckregler, der eine einfache Einstellung, Überwachung und Nachführung des Werkzeugdrucks ermöglicht, sowie über einen programmierbaren Temperaturregler, mit dem die optimale Umgebung für die Ätz- und Ascheprozesse überwacht und eingerichtet werden kann. Das Asset verfügt auch über eine Prozess-in-place-Fähigkeit, so dass es einfacher und kostengünstiger ist, nur eine einzige Kammer für alle Prozesse zu verwenden, anstatt mehrere Kammern. Es bietet dem Anwender auch eine größere Flexibilität bei der vollständigen Ausnutzung von Wafern oder Prozessfenstern sowie die Möglichkeit, mehrere Schichten in derselben Kammer zu verarbeiten. Darüber hinaus wird das Modell mit einem fortschrittlichen Sicherheitspaket geliefert, das die Sicherheit des Benutzers gewährleistet, einschließlich Brandschutztür und -kammer, Warnzeitpunkt, Prozessüberschreitung und Lichtbogenausfallerkennung. TCP-9600 ist eine zuverlässige und hochwertige Ätzer/Ascher-Lösung, die Präzision und Wiederholbarkeit, einfache Automatisierung und hervorragende Sicherheitsmaßnahmen bietet.
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