Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 #9225269 zu verkaufen

LAM RESEARCH TCP 9600 ist ein Präzisions-Asher, der für die Produktion von fortschrittlichen Geräten für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Die Ausrüstung ist eine modulare, eng integrierte Plattform mit einer Vielzahl von Prozessfähigkeiten. Die enge Integration der verschiedenen Module schafft einen robusten Prozess, der Wartung und betriebliche Komplexität minimiert. LAM RESEARCH TCP9600 verwendet optische Ausrichtungstechnologie, um eine präzise Ätzung von Aluminium, Einbauoxid und sensiblen Merkmalsgeometrien zu gewährleisten. Das System verfügt über Nass- und Trockenätzfunktionen und ermöglicht eine kostengünstige Verarbeitung einer Vielzahl von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm. Mit zwei Strahlquellen sowohl der Wellen- als auch der Elektronenanregung können TCP-9600 die gewünschte Ätzprozessrandrate exakt auf +/- 0,1 Mikrometer pro Stunde halten. TCP9600 können bis zu 60 Substrate gleichzeitig handhaben, was eine flexible und kundenspezifische Verarbeitung ermöglicht. Es nutzt Intellifex, eine fortschrittliche Einheitenarchitektur, um die Produktivität durch automatische Optimierung von Ätzraten und Endpunktgenauigkeit zu verbessern. Die Maschine verfügt auch über Total Process Control, ein geschlossenes Werkzeug, das die Prozessstabilität während des gesamten Prozesses überwacht. Dies bietet die Vorteile erhöhter Ausbeute, verbesserten Durchsatz und gleichbleibend hochwertige Ergebnisse. Neben seiner hohen Ätzfrequenz und Genauigkeit bietet LAM RESEARCH TCP-9600 eine Vielzahl fortschrittlicher Technologien. Es verfügt über die Fähigkeit, mehrschichtige Ätzverfahren durchzuführen und Schmutzschutztechniken wie erweiterte Filmstärkekontrolle und Vakuumreinigungsmittel einzusetzen. Das Modell umfasst auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie Gassicherheitsausrüstung und Schweißüberwachungssystem, die weitere Schutzmaßnahmen gegen gefährliche Bedingungen bieten. Insgesamt bietet TCP 9600 eine effiziente, hochpräzise und präzise Ätzlösung für die Halbleiterindustrie. Die fortschrittlichen Fähigkeiten und Sicherheitssysteme des Geräts machen es ideal für die volumenstarke Verarbeitung komplexer Substrate.