Gebraucht LAM RESEARCH TCP 9600 #9226996 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9226996
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Metal etcher, 8"
Missing parts
1995 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung zum Präzisionsätzen und Aschen verschiedener Materialien. Mit einem robusten Design verfügt LAM RESEARCH TCP9600 über eine optimierte Plattform mit niedrigem Stromverbrauch und einem umgewälzten Gasweg, um den Durchsatz zu maximieren und die Wartungskosten zu minimieren. TCP-9600 bietet eine optimierte Hochdruckprozessumgebung mit einer Kammergröße von 13,2 x 13,2 Zoll, die bis zu 6 Wafer pro Zyklus verarbeiten kann. Es verfügt auch über eine Tri-Mode-Prozesskammer für optimale Hochtemperatur-, Tieftemperatur- oder Umgebungstemperaturprozesse. Das System sorgt mit seiner benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche und den Sicherheitsschaltern für Übertemperatur für eine benutzerfreundliche Bedienung. Die automatisierte Prozesseinheit verfügt über mehrere spezielle Komponenten wie eine Hochleistungs-Turbopumpe, eine Probentransfermaschine und einen Durchflussregler/Mischer. Die Hochleistungs-Turbopumpe sorgt für hohe Entlüftungsgeschwindigkeiten während der Aufwärm-, Prozess- und Entlüftungsphasen. Das Probentransferwerkzeug ermöglicht die automatische Positionierung von Wafern innerhalb der Ätz-/Aschekammer. Der Strömungsregler/Mischer steuert die Kombination von Gasen und Verhältnissen der Prozessgase in programmierten Intervallen genau. TCP 9600 verfügt auch über einen externen Gaskasten, der die Ventile, Durchflussmesser und einen Gasregler enthält, wodurch Prozessgase mit spezifischen Parametern, die für jede Anwendung geeignet sind, leicht hinzugefügt werden können. Eine turbomolekulare Pumpanlage sorgt für einen unterbrechungsfreien Betrieb von Hochvakuumprozessen. LAM RESEARCH TCP-9600 verfügt auch über eine erweiterte Software-Suite, die High-End-Datenerfassung, Datenanalyse und Prozesssteuerung umfasst. Diese ausgeklügelte Software ermöglicht es dem Anwender, Parameter wie Temperatur, Druck und Durchflussrate schnell und präzise zu überwachen und einzustellen, um optimale Ätz-/Ascheergebnisse zu erzielen. TCP9600 ist ein fortschrittliches Ätz- und Aschemodell zum präzisen Ätzen und Aschen von Halbleitern, Gläsern und anderen Materialien. Aufgrund seines robusten Designs, seiner optimierten Plattform, seiner einfachen Bedienung und seiner fortschrittlichen Software-Suite ist dieses Gerät die ultimative Lösung, um präzise Ätz-/Ascheergebnisse zu erzielen.
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